中古 LAM RESEARCH 4420 XL #9188606 を販売中

LAM RESEARCH 4420 XLは、エッチングおよびアッシング用途において最高レベルの性能を提供するように設計された、高度で高生産性のエッチャー/アッシャーです。このシステムは、最先端のドライエッチングおよびアッシング技術を使用して、最高の生産歩留まりと優れたプロセス結果を達成します。LAM RESEARCH 4420XLは、視野顕微鏡を備えた自動ロードロック、完全にプログラム可能なプロセスパラメータ、エッチングとアッシング性能に最適化された構成など、いくつかのユニークな利点を提供します。石英エッチング管を備えたステンレス製のチャンバーと高精度な結果を得るための高解像度の光学アライメントシステムを備えています。4420 XLは、幅広いエッチングおよびアッシング機能を提供するように設計されています。ウエハは直径8インチまで加工でき、エッチングが可能で、1インチあたり30Wのピーク電力までのレートで処理できます。温度制御されたエッチングとアッシングゾーンがあり、一貫性のある結果が得られます。また、高精度のエッチングパターンを生成するために使用することができるエッチングレシピの広い範囲を提供しています。4420XLに有効な物質的な移動およびプロセス均等性のために設計されている大きい部屋の容積があります。その高級ブランドのステンレス製のチャンバーは、最高レベルの性能と一貫性を可能にします。ウェーハホルダーは、エッチングまたはアッシング処理中にウェーハを安全かつ安全に保持するように設計されています。最後に、LAM RESEARCH 4420 XLには、プロセスのセットアップに使いやすく効率的な包括的なユーザーインターフェイスが含まれています。これは、最適にカスタマイズ可能なプロセス体験を提供するように設計されており、多数の機能を備えた強力なデータ分析プラットフォームが含まれています。これにより、ユーザーはプロセスサイクル中の変更を監視および追跡できます。LAM RESEARCH 4420XLは、エッチングとアッシングの両方のアプリケーションで優れた性能を提供する強力なエッチャー/アッシャーです。ウェーハエッチングとアッシングプロセスから最大限の結果を達成しようとする人にとっては、優れた選択肢です。直感的なインターフェイスと包括的なユーザーサポートにより、効率的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーをお探しのお客様に最適です。