中古 LAM RESEARCH 4420 XL #293758321 を販売中

LAM RESEARCH 4420 XL Asherは、半導体ウェハのエッチング、裏面処理、深部サブサーフェスエッチングに使用される先進のウェットベンチエッチング装置です。エッチャーには2つのチャンバーがあり、同時または独立して使用できます。エッチングチャンバーは、高品質のエッチングと高いスループットの両方を可能にするように設計されています。2番目のチャンバーは、酸化物のパッシベーション、エッチング後のクリーニング、熱酸化やTMAHクリーニングなどの他の処理ステップなどのポストエッチング活動に使用されます。エッチャーは、オペレータプロンプトと特定のタスクに合わせて調整できるプログラムを備えた多言語ユーザーインターフェイスを介して制御されます。フロントパネルまたはタッチスクリーンは、エッチャープロセスの簡単なプログラムのセットアップと制御を提供するように設計されています。LAM RESEARCH 4420XL Asherは、3インチから8インチまでのウエハ加工が可能で、最大300mmのウエハに対応しています。エッチャーには最大48のタイミングまたは圧力コンセントが装備されており、高速で可変的なエッチングが可能です。複数のガスシステムに対応しており、標準的な気体洗浄化学品や特殊ガスを選択して使用することができます。セントラルガスコントローラは、ガスの一貫した流れを確実にし、エッチングの再現性と再現性を実現します。このシステムには、プログラム可能な温度プロファイル制御、クローズドループのサーマルセンシング、およびオンデマンド冷却など、さまざまなin-situ温度制御機能が装備されています。連続的な圧力エッチング機能により、エッチングプロファイルを制御することができ、内蔵の圧力センサはチャンバー圧力を制御します。4420 XL Asherは、エッチャーチャンバーに統合されたリンスステーションを備えており、プロセスの柔軟性を最大限に高めています。ステーションは、エッチング後のクリーニングやフッ化水素洗浄など、幅広い用途向けに設計されています。また、ドライバックステーションを備え、エッチング後のクリーンステップを追加しています。4420XL Asherは、安全性と環境コンプライアンスのためにも設計されています。この機械は、有害物質の容易な封じ込め、ガスの流れと換気の必要性の低減、および廃棄物管理のニーズの低減のために設計されています。エッチャーはまた、連結されたドアやパージ機能などの改善された安全機能を提供します。全体的に、LAM RESEARCH 4420 XL Asherは、高品質のエッチングと裏面処理に最適な機能豊富なエッチングおよびアッシャーです。このツールは、正確なエッチング制御、現場温度制御、統合されたリンスステーション、およびさまざまな安全機能を提供し、幅広い用途に対応する信頼性と汎用性の高いエッチングツールです。