中古 LAM RESEARCH 4400B #9145836 を販売中

ID: 9145836
ウェーハサイズ: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH 4400Bは、さまざまな産業用途向けの高精度エッチャーおよびアッシャーです。この堅牢なツールは、高速エッチング、高収率プロセス性能、および耐久性の高い寿命を備えた最新のエッチングおよびアッシング技術をお客様に提供します。4400Bは、同時に実行できる2つの独立したエッチングとアッシングプロセスを利用しています。最初のプロセスは、アークチャンバーで生成されたプラズマを使用して、ターゲット材料にエッチングパターンを作成します。2番目のプロセスは、材料をアッシャーし、所望の厚さにストリップすることができ、時間の反応プロセスを使用します。ashingプロセスの間に、材料は均一なエッチングを保障するために沈殿の率が堅く制御される部屋の外で沈殿されます。この機械は、均一なエッチングとアッシング処理により試料の再現性を確保し、堅牢な陰極駆動回路を使用して各セルに所望の電流レベルを供給します。この均一性は、オンボードコンピュータを介して調整および監視することができます。データ収集とプロセス監視は、組み込みのディスプレイと、ユーザーがプロセスパラメータを変更し、必要に応じて実験を行うことができるさまざまなソフトウェアオプションを介して可能になります。LAM RESEARCH 4400Bは、オプションのプロセスサプリメントも提供しています。エッチングとアッシング性能を高めるために使用できるさまざまな高性能プロセスソースを内蔵しています。さらに、機械は加熱と冷却をサポートして制御の度合いを高めることができます。冷却は、プロセスの再現性を高めるために最大40°Cに設定することができますが、ヒーティングコントロールを使用すると、必要に応じて0〜450°Cの温度を素早く調整できます。4400Bは、最適な柔軟性とメンテナンスの容易さを提供するように設計されています。交換が簡単なコンポーネントを備えているため、ユーザーは必要な修理や調整をすばやく行うことができます。さらに、LAM RESEARCH 4400Bは、さまざまなポートの位置と構成を提供し、機械をさまざまなエッチングのニーズに簡単に適応させることができます。4400Bは、工業用の包括的なエッチングとアッシングのソリューションを提供しています。高精度のエッチングとアッシングから柔軟性とメンテナンスの容易さまで、LAM RESEARCH 4400Bは一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供するのに最適なツールです。プログラムが容易で、再現性が確保されているため、プロセスの歩留まりが向上し、優れたコスト削減が可能です。
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