中古 LAM RESEARCH 4000 Series #9169567 を販売中

LAM RESEARCH 4000シリーズエッチャー/アッシャーは、生産と研究開発の両方のために設計された、高周波、自動プラズマエッチング装置です。直感的なユーザーインターフェイスを提供しており、ほとんどの誘電体および金属フィルムにケミカルフリーエッチングを提供します。このシステムは、LAM RESEARCH特許取得済みのX-Csテクノロジーを使用して、高度なエッチング精度とプロセスパラメータの制御を提供します。4000シリーズは、高度な軸型シーケンシャルプラズマソースを備えています。このソースは、最短時間で最高品質のエッチング結果を達成することを保証します、高度なチャッキング機構は、真空条件下でウェーハを確保しながら、安定した処理プラットフォームを提供します。このユニットの統合されたプラズマ制御サブシステムは、すべてのプロセスパラメータを正確に管理し、ウェーハ全体で一貫したエッチング品質を保証します。その制御ソフトウェアは、ユーザーが簡単にプログラムし、将来の使用のためのレシピを保存することができます。優れたエッチング機能に加えて、優れたパワーとエアフロー管理を備えたLAM RESEARCH 4000シリーズ。これにより、一貫したエッチング速度と安定性が確保され、マシンの総パフォーマンスが最大化されます。4000シリーズは、エッチングチャンバーのフィードバック制御を提供し、チャンバーの再現性を向上させ、長期的なチャンバ性能を維持するLAM RESEARCH実証済みのセンサー技術を搭載しています。その高度な真空制御ツールは、安定した真空性能を提供し、汚染制御を強化します。LAM RESEARCH 4000 Series Etcher/Asherは、幅広い材料、高品質の結果、直感的なユーザーインターフェースをエッチングすることができるため、生産および研究開発における高精度エッチング要件に最適なソリューションです。