中古 LAM RESEARCH 300NX #9257375 を販売中

LAM RESEARCH 300NXは、さまざまな半導体製造プロセスのエッチャーおよびアッシャーです。300NXは、液体、スラリー、ガス化学の配列と互換性があり、プラズマエッチングとプラズマアッシングが可能で、小規模から中規模の生産に最適なツールです。複雑なウェーハジオメトリを処理するように設計されており、処理面積16「の18」 x18 「x24」のプロセスチャンバー寸法を備えています。LAM RESEARCH 300NXは、回転バッフルプレートを使用して化学物質のカスケードを効果的に管理するユニークなシャワーヘッド設計を誇っています。さらに、ウェーハ温度を低減する垂直調整可能なサブアンビエント冷却リングを備えており、プロセスの再現性を向上させます。装置は十分に自動化され、遠隔に制御することができますすべての調理法および変数は容易なリコールおよび取得のために貯えることができます。300NXには最先端の観察システムとユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されており、エッチャーのメンテナンスを常に監視、最適化、実行できます。LAM RESEARCH 300NXは、生産性を最大限に高めるために、ウェーハスループットを向上させ、サイクル時間を短縮するように設計されたCenterTrackウェーハハンディングユニットを備えています。また、3段階のプロセスパーティションマシンを備えており、同じウェハで最大3つのデバイスプロセスを実行できます。さらに、オートコントローラは、サブプロセスコントローラやサイクルコントローラなどの多くのプロセス制御ツールを提供し、プロセスの最適化を微調整するために使用できます。300NXに61 "x198" x103"の足跡があり、プロセス部屋内の安定した大気を保障する環境制御用具を特色にします。汚染を防ぐロードロックを装備し、RoHSに準拠しています。LAM RESEARCH 300NXは、複雑な半導体製造プロセス向けの高度なエッチャーおよびアッシャーです。