中古 LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP #293649521 を販売中

LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXPは、高度な半導体材料の製造に特化して設計された完全自動エッチャー/アッシャーです。装置は精密で、反復可能なプロセスを保障する高度のプロセス制御特徴が装備されています。2600 E6 Flex FXPの機能は、先進的な半導体材料の開発において比類のないものです。LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP Etcher/Asherは、エッチングおよびアッシングプロセス全体で最高レベルの基板再現性を備えています。システムの中核には、エッチングとアッシング工程を通して、優れた再現性のある基板の動きとアライメントを提供するウェーハ搬送機構があります。精密で再現性のある寸法制御とプロセスの一貫性を実現します。このマシンは、平面面または深部トレンチおよびサイドウォールのアプローチの両方で、超高解像度プラズマエッチングおよびアッシャーアプリケーション用に設計されています。2600 E6 Flex FXPはまた、エッチング用の高濃度イオン源と高圧グロー放電を提供し、高品質のプラズマアッシングと組み合わせて最高のプロセス性能を提供します。強烈なプラズマは、さまざまなアプリケーションのためのウェーハタイプの範囲を処理する柔軟性を提供します。このツールはまた、高エッチング率と広いプロセスウィンドウを可能にするために、複数のプラズマ源を利用しています。最適なプロセス制御のために、LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXPは、エンドポイント制御やリアルタイムの温度/圧力フィードバックなど、高度なプロセス制御フィードバックと制御機能の包括的な範囲を提供します。2600 E6 Flex FXPは、高度な半導体材料製造環境に不可欠なツールであり、再現性と再現性の高いプロセスと高レベルのプロセス制御を提供します。優れた基板エッチング/アッシング性能、高度なプロセス制御フィードバック、並外れたプロセス精度の組み合わせにより、LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXPは、高度な半導体製造に欠かせないツールです。