中古 LAM RESEARCH 2300e6 #9218169 を販売中

LAM RESEARCH 2300e6は、高性能で費用対効果の高いエッチングおよびアッシング装置です。リアクティブイオンエッチング（RIE）から化学蒸着（CVD）、その他すべてのエッチングおよびアッシング技術まで、幅広いエッチング/アッシング機能を提供するように設計されています。このシステムの構成可能なモジュラーアーキテクチャにより、ユーザーはツールをカスタマイズして、アプリケーションの正確な処理要件を満たすことができます。さらに、2300e6は高速で低コストのエッチング/アッシングソリューションを提供し、リソグラフィ環境で高速で効率的で信頼性の高いソリューションです。このユニットには、イオンエッチング（IE）、電子サイクロトロン共鳴エッチング（ECR）チャンバー、水素および酸素プラズマエッチングチャンバーなどの成膜ツールを含むさまざまなプロセスツールが付属しています。また、完全に自動化されたバッチプロセスコントローラを備えており、完全な並列サブシステム制御を提供します。これにより、オペレータは複数のプロセスパラメータを同時に設定し、必要なエッチング/アッシングパラメータを達成するために必要に応じてこれらのパラメータをすばやく変更できます。LAM RESEARCH 2300e6は、エッチング/アッシングレシピの範囲を提供し、ユーザーが自分のプロセスレシピをカスタマイズすることができます。さらに、このマシンには、ユーザーがエッチング/アッシング処理を制御できるようにする幅広い診断ツールが含まれています。これらのツールには、スペクトル放射分析、熱電対測定、厚さ測定、フィルムスキャン電子顕微鏡などが含まれます。2300e6エッチング/アッシングツールは、高スループットと費用対効果のために設計されています。高速サイクルタイムとモジュラーアーキテクチャにより、ユーザーはプロセスレシピを変更できます。このアセットは、商用、一般、高度なエッチング/アッシングアプリケーションに最適です。高性能な機能とプロセスの信頼性により、プロトタイピング、プロセス開発、研究アプリケーションにも適しています。プロセス機能に加えて、LAM RESEARCH 2300e6には、すべての操作を完全にユーザーコントロールする統合フロントエンドインターフェイスソフトウェアが装備されています。これにより、ユーザーは簡単にエッチングとアッシングのレシピをセットアップし、レシピの複数のステップのパラメータを変更し、プロセスを監視することができます。ソフトウェアはまた、モデルの操作を合理化するための直感的なグラフィカルインターフェイスを提供します。全体的に2300e6は、高度なプロセス機能と直感的なユーザーインターフェイスソフトウェアを備えた、高性能で費用対効果の高いエッチャー/アッシャーです。高速サイクルタイムとレシピを変更する能力のおかげで、この機器は多くのエッチングおよびアッシング用途に最適です。