中古 LAM RESEARCH 2300e6 Kiyo EX #293631692 を販売中

LAM RESEARCH 2300e6 Kiyo EXは、金属アルミナ用の高度な銅パターニング用に製造可能な高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高度なパターニング機能を備えた高度な処理を可能にする機械的アライメントユニットで設計されています。それは化学不動態化、金属のエッチングおよび高度のクリーニングのような安全なプロセス選択の広い範囲を提供します。このマシンには、可変基板バイアス制御や高度なRF制御などの高度なプロセス制御ツールも含まれています。数十kHzまでの可変範囲と広いスイープ周波数範囲を提供する高出力RFジェネレータを使用しています。これは、ユーザーが様々な堆積ガスから選択することができます4つの独立したガス源を持っています。さらに、4つのデュアルチェーンRFコイル、PID温度センサー、クローズドループRF振幅とパワーコントロールを備えています。エッチャー/アッシャーツールは、高解像度と均一性を実現する8インチ電極を備え、オプションの10インチ9インチおよび11インチのオプションを備えています。最大3つの独立したガス源、アルミニウムボディと高度な位置決めアセットを備えており、信頼性を高めています。さらに、圧力・温度センサー、セルフモニターを搭載し、クリーンルーム動作をサポートします。液体搬送ユニット、真空チャンバークリーニングユニット、クーラント分析モデルを備えています。2300e6 Kiyo EX装置は、半導体製造における最先端のアプリケーション開発に使用されるように設計されています。低消費電力、ハイエンド基板ホルダー、高度なRFシステムなどが特徴です。このユニットは、高度な構造を効率的かつ正確にパターン化することができます。その幅広いプロセスオプションと独立したガス源は、高度な金属アルミナパターニング用途に最適です。