中古 LAM RESEARCH 2300e6 Flex FX #293826568 を販売中
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ID: 293826568
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2019
Etcher, 12"
(6) Flex FX Process chambers
(6) Gas boxes
Power box
Transfer chamber
2019 vintage.
LAM RESEARCH 2300e6は精密なプロセス制御および優秀な性能のために設計されている次世代のエッチャー/asherです。エッチングやアッシャーパターンの高精度化が可能で、パターンの正確な形成やパターン欠陥の低減が可能です。システムに信頼でき、使いやすい設計、高いスループットおよび低い粒子の汚染があります。2300e6は、高速エッチング、低温エッチング、プラズマ蒸着、RFプラズマエッチングなど、幅広い処理オプションを提供します。オートローダー、ウェーハハンドリングロボット、温度制御環境、パーティクルディテクタなど、精密なサンプルハンドリングと制御のための高度な機器を備えています。このマシンには、コンピューター制御の統合プロセス制御ツールも含まれており、各プロセスのステップを監視、最適化、制御します。エッチング時間、圧力、温度、ガスの高精度制御を容易にします。このアセットは、高周波電源、温度調節器、空気圧モニター、ICロードセルなどの技術インフラを強化しています。また、統合された診断機能を備えており、ユーザーはプロセスパラメータを監視および調整してエッチング性能を向上させることができます。さらに、LAM RESEARCH 2300e6には、非破壊的なインプロセス検査のための高度な高速イメージングツールが装備されています。2300e6は、ディスプレイや半導体部品などのデバイスの大量生産や、サブミクロンレベルまでの精密なエッチングが必要な複雑なプロジェクトに適しています。このツールは、エッチングとアッシングプロセスのより大きな制御を保証し、完成したマイクロサーキットデバイスで可能な限り最高の歩留まりを可能にします。LAM RESEARCH 2300e6は、1ナノメートル以内の精度を維持し、200アングストロームの優れた分解能を提供します。これらの高度な技術の結果として、2300e6はさまざまなプロセス分野で非常に信頼性の高いパフォーマンスを提供します。精密で再現性のあるエッチング結果を必要とするメーカーに最適です。幅広いエッチング・アッシング工程に適したモデルで、エッチング・アッシング工程を厳密に制御し、大量生産に対応します。
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