中古 LAM RESEARCH 2300e5 KIYO MCX #9252293 を販売中

LAM RESEARCH 2300e5 KIYO MCXは、幅広い用途で使用されるエッチャー/アッシャー機器です。これは、エッチングと真空補助化学洗浄の両方を提供する4つの統合されたプロセスチャンバーを備えたマルチチャンバーシステムです。このユニットは、部品やアセンブリのための寛大なスペースを提供する非常に大きなチャンバーを持っており、より大きな基板やユニークな形状の処理を可能にします。バブルウェーハハンドラなど1つまたは複数の追加コンポーネントを搭載することで、利便性と生産性を高めます。このマシンは、信頼性の高いDC中空陰極プラズマ源に基づいており、エッチング速度と選択性に対する改善された均一性と正確な制御を提供します。様々なエッチングケミストリーにわたって均一なエッチング率を実現し、幅広い素材のエッチングを高速に行えるように設計されています。このエッチャー/アッシャーはまた、調整可能なパージ制御機能を使用して、プラズマ「大理石」を管理し、炭素汚染除去プロセスのパフォーマンスを向上させることができます。DC電源とRF電源の両方を備えており、エッチング速度を正確に制御できます。KIYO MCXは、さまざまなソリューションを活用したケミカルクリーニングも可能です。これは、バッチスタイルまたはインラインのどちらかの真空補助プロセスで行われ、バッチスタイルのプロセスと比較して、統合されたクリーニングを可能にし、特別なセットアップ手順を必要としません。掃除機によるケミカルクリーニングは、従来のバッチ式クリーニングと比較してクリーニング品質を大幅に向上させることができます。このツールには、自動リアルタイム迅速応答プロセス制御などの高度な機能を提供する制御アセットが装備されており、均一性の向上とより良い結果を得ることができます。また、プロセスの可変性を低減する自動レシピ制御、およびエッチングおよびクリーンプロセスの監視と操作のための大型タッチスクリーンLCDモニターも提供しています。要するに、2300e5 KIYO MCXは、DC電源とRF電源の両方を使用して、さまざまな材料を迅速かつ均一にエッチングするために使用できる信頼性の高いエッチャー/アッシャーモデルです。また、高度な自動プロセス制御により、効率的な真空補助化学洗浄機能を提供します。これにより、KIYO MCXは迅速で一貫した信頼性の高い結果を必要とする本番環境に最適な選択肢となります。