中古 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX #293668506 を販売中

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX （Chemical Mechanical Planarization）エッチャー/アッシャーは、複雑な機能をさまざまな材料にエッチングする画期的なエッチングツールです。それはR&Dおよび生産の適用のためにとりわけ設計されている複数の部屋のエッチャーおよびasher装置です。2300e5 Exelan Flex FXは、化学機械平面化プロセス（CMP）を使用して、サイズや形状に制限のない、高精度で一貫して均一な機能をあらゆる材料に刻印します。この機械にはデュアルエッチングチャンバーが装備されており、一連のイオン爆撃と湿式または乾式の化学エッチングを組み合わせて最大0。075ミクロンの厚さの機能を作り出すことができます。チャンバーは、1つのエッチング、2つのエッチングおよび1つのトリム、または結合されたエッチング/トリム操作のために設定できます。このすべては、リソースを切り替える必要なく、現場で行うことができます。また、ウエハートラッキングシステムが内蔵されているため、ユーザーは進行中のエッチングプロセスを監視することができ、プロセスおよびエッチングレシピの監査証跡を確認できます。ソフトウェアは、ウェーハが正しくエッチングされていることを確認するために、プロセスの終了点を監視するように設定することもできます。エッチャー/アッシャーは、ウェーハの破損や改ざんのリスクを排除する安全インターロックユニットで設計されています。タンクとポンプシステムはエッチングごとに分離されており、異物混入や偶発的なエッチングの可能性はありません。LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FXの最も注目すべき特徴の1つは、その高度な自動化機能です。プロセス全体は、他の製造管理システムとの統合を可能にし、再現性のある結果を保証する制御マシンによって管理されます。このツールには、他のローカルおよびリモートマシンに接続するためのOPCUA通信プロトコルも装備されています。2300e5 Exelan Flex FXは、生産、研究、開発アプリケーション向けに設計された多目的で信頼性の高いエッチャー/アッシャー資産です。このマシンは、高度な精密機能とオートメーション機能を組み合わせており、高精度で再現性のある複雑な機能をエッチングすることができます。これにより、製造メーカーは柔軟性とコスト効率を向上させ、短時間で無駄を最小限に抑えて複雑なエッチング処理を完了することができます。