中古 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX #293751704 を販売中

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EXは、さまざまな基板上に複数のプロセス用に設計されたエッチャー/アッシャーです。2650mm×1950mmの大型加工エリアを備えており、最大300mmのフルサイズのウェーハを1回に3台まで収容できます。ハードウェアは、4つのプロセスゾーン、統合マルチプロセス（IMP）モード、および8つのオプションゾーン構成を組み込むように設計されています。2300e5は、高度なプロセス制御とLMD （Low Metallization Drift）機能を提供するように設計されており、オプションのインチャンバー光学センサーを備えており、プロセスの再現性と均一性を向上させます。基板の取り扱いを迅速かつ容易にするための自動配送装置で構成されており、運転中のチャンバー部品との人間の接触リスクを低減するための高度な安全インターロックシステムを備えています。2300e5は、高速で効率的なプロセスのためにいくつかの機能を備えています。これらの機能には、RF、ガスおよび温度制御、急速熱アニール（RTA）ユニット、および迅速な避難を容易にするための大型真空ポンプのリアルタイム調整が含まれます。このマシンは高度にカスタマイズ可能で、さまざまなプラズマ源、電源、プロセスレシピが用意されています。Exelan Flex EXは、プロセス変数のリアルタイム表示、自動キャリブレーション、自動化されたギャップとフォーカスキャリブレーション、現場のエッチングレートモニター、RTPプログラムなど、包括的な監視およびレポート機能も提供します。2300e5の内蔵ハードウェア、ソフトウェア、および制御へのアクセスは、CComおよびシリアルインターフェイス、またはイーサネット接続のユーザーインターフェイスを介して行うことができます。2300e5 Exelan Flex EXは、複数のプロセスを使用して複数の基板上で効率的で信頼性の高いエッチングおよびアッシングプロセスをユーザーに提供するように設計されています。高度なハードウェアとソフトウェアを組み合わせることで、高度な半導体加工から産業用印刷やコーティングまで、さまざまな用途に最適です。LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EXは、最大3つのフルサイズの300mmウェーハ、およびプロセス制御、特定の分析および監視機能、急速な熱アニーリング、自動配信ツールなどの機能を備えた汎用性と強力なエッチャー/アッシャーです。