中古 LAM RESEARCH 2300e4 Flex DX #293592612 を販売中

LAM RESEARCH 2300e4 Flex DXは、半導体ファブ用に設計されたエッチャー/アッシャーです。コンパクトで高性能なエッチング/アッシュで、幅広い用途に対応可能です。クリーンルーム対応設計と高速プロセス制御により、誘電体、ポリシリコン、フォトレジストエッチング/アッシングに最適です。このシステムはまた、エッチング/アッシング用途のための正確で反復可能な結果を提供します。2300e4 Flex DXは、ユーザーが特定の要件に基づいてプロセスパラメータをカスタマイズできるマルチガス、マルチチャンバーエッチャー/アッシャーユニットです。様々な素材に対応し、高出力チャンバやフレキシブルなパラメータ設定が必要なエッチング/アッシング処理が可能です。このマシンを使用すると、チャンバー圧力、RF電力、反応時間などのプロセス変数を迅速かつ正確に調整できます。2300e4はまた、ユーザーが複数のガスタイプとチャンバーの居住時間を選択して制御することができる自動マッピングツールを備えています。この資産は、数秒で目標のエッチング率を達成することができる高性能プラットフォームを提供し、繰り返し可能な結果を一貫して提供します。これにより、エッチングの厚さが重要であり、プロセスのバリエーションを最小限に抑える必要があるプロセスに最適です。2300e4は、幅広いプロセスサイズと構成に対応しているため、必要に応じてエッチングレートを上下にスケーリングできます。LAM RESEARCH 2300e4 Flex DXは、パフォーマンス、柔軟性、安全性の優れた組み合わせを提供します。堅牢な設計、自動化されたプロセス制御、幅広いプロセス構成により、半導体業界のユーザーに最適です。プロセス変数を迅速かつ正確に調整できるため、ユーザーは正確で繰り返し可能なエッチング結果を得ることができます。