中古 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX #293766466 を販売中
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ID: 293766466
ヴィンテージ: 2018
Dielectric etcher
(4) 2300 Flex GX
2300e4 Platform
(4) Heated foreline manometer
(4) Chemraz vacuum valve
(4) NSR102216, RPDB for GX
(4) NSR102105, FLEX GX PM
Flex GX Quick clean kit
(4) 2300 Flex GX Jetstream gas box
3 Foup TDK
(4) Hermos carrier ID
WIDS Btm read
RGV/OHT PIO Sensor
Conditioning station (7 Wafer)
25 Slot aux buffer
VTM Pump: Edwards (EPX)
Vespel single sense
User interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Earth leakage breaker
Cable: TM-Subpanel, 100ft
Signal light tower, R-O-G-B Slim line
Light curtain
Input buffer corr res without Exh
Sys calibration and alignment
Service step for PM
VTM Robot lift
Robot CDM
Light tower buzzer
Metric to inch conv Fittings
APCS
NSR10702, N2 Flow monitoring on UP
Gas box:
(36) Jetstream gas line heated
(16) Gas line additional tuning
(4) Gas line non standard MFC
(9) NSR102690, Flex GX Gas line
(8) Flex GX Tuning Gas option
(1) Facility interface box
(17) Facility interface box
AFVi
2018 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GXは、半導体製造プロセス向けに設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。この最先端のツールは、エッチングおよびアッシング用途に幅広い機能を提供し、生産環境で高精度と信頼性を提供します。このシステムは、革新的な技術とユーザーフレンドリーな機能を組み合わせて、半導体業界の厳しい要件を満たしています。2300e4 Exelan Flex GXは、さまざまなエッチングおよびアッシング処理をサポートする汎用性の高いプラットフォームを備えているため、半導体製造の幅広い用途に適しています。高度なプラズマ源、ガス供給システム、プロセス制御技術を備えており、選択性、均一性、プロセス速度などのエッチングパラメータを正確に制御できます。このユニットは、プロセス開発と最適化の柔軟性を提供し、ユーザーが特定のアプリケーションに最適な結果を得ることができます。LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GXに統合された重要な技術の1つは、プロセスパラメータのリアルタイム監視と調整を提供するExelan Flex高度な制御マシンです。このツールは優れたプロセス制御機能を提供し、ユーザーはウェーハ全体で高いプロセス均一性と再現性を実現できます。Exelan Flexコントロール資産は、高度なプロセスレシピもサポートし、シームレスな生産ワークフローのために他のプロセスツールと容易に統合できます。2300e4 Exelan Flex GXは、サイクル時間を短縮し、運用効率を向上させる高度なオートメーション機能を備え、高い生産性とスループットを実現するように設計されています。マルチチャンバー構成を採用し、複数のウェーハを並列処理できるため、高スループットで機器使用率を最大化できます。また、チャンバ間の高速転送時間と効率的なウェーハハンドリングメカニズムを備えており、アイドル時間を最小限に抑え、全体的な生産性を向上させます。さらに、LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GXには、高度なプロセスモニタリングと診断機能が組み込まれており、最適なパフォーマンスとプロセスの安定性を保証します。このシステムには、in-situ計測ツールが装備されており、主要なプロセスパラメータをリアルタイムで監視し、プロセスの偏差を迅速に検出し、プロセスの完全性を維持するための調整を可能にします。また、高度なフォルト検出および予測アルゴリズムを備えており、プロセスの中断を防ぎ、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。全体として、2300e4 Exelan Flex GXは、半導体製造プロセスに高度な機能を提供する最先端のエッチャー/アッシャーマシンです。革新的な技術、ユーザーフレンドリーな機能、高い生産性を備えたこのツールは、半導体業界の厳しい要求に応えるのに理想的です。LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GXは、エッチング、アッシング、またはその他のプロセスアプリケーションに使用されるかどうかにかかわらず、高収量の半導体生産に一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供します。
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