中古 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9385701 を販売中

LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DXは精密制御、柔軟性、および性能のためのいくつかの先端技術を特色にするetcher/asherです。この機器には、LAMのExelan Flex DX制御システムが搭載されており、完全なソフトウェア統合と、選択可能なO2 ETCHまたは高レートのO2アッシャー操作、拡張エッチング制御、温度ベースのプロセス制御、温度プロファイリングなどの包括的な機能を提供します。このユニットには、4位置42-in4のプロセス修飾された炉と、最適な均一性を得るための可動式ヒーターアセンブリが含まれています。炉には、最大動作温度1600°Cのセラミッククラッド耐火材料と、VHFまたはECRエッチング用のオプションの250ワットRFジェネレータが並んでいます。Exelan Flex DXソフトウェアは、簡単で正確なプロセス設定とシミュレーションを可能にし、ユーザーは独自のカスタムパラメータで最大64個のプロセスレシピを保存できます。統合されたガス供給機は比類のないもので、個々の流量とパージでエッチングまたはアッシングに使用される最大4つのガスを正確に導入できます。圧力と流量だけでなく、O2とArのレベルを監視し、統合フローコントローラを使用してすぐに調整することができます。Electrolyte Catalyst Moduleを使用すると、エッチングやアッシングだけでなく、フィルムの成長、電解洗浄、拡散などのプロセスにも対応できるようになります。2300e4 Exelan Flex DXはまたスパッタの均一性を保障するためにターゲットおよび力の独立した制御を提供する高度の精密スパッタモジュールを含んでいます。このツールでは、統合されたシャッター閉鎖機構、簡単なサンプル処理のためのロータリーチャンバー、およびクアッドターボ分子ポンプがすべて紹介されています。これらの機能を組み合わせて、優れたレベルの表面処理を実現し、ユーザーはあらゆるプロセスをより再現性と信頼性を高めることができます。