中古 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9385677 を販売中

LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DXは、大容量の3次元エレクトロニクスおよび大面積の蒸着アプリケーション用に設計されたドライエッチャー/アッシャーです。スループット、プロセス制御、プロセス再現性の点で、他のエッチャーやアッシャーよりも大幅に改善されます。2300e4 Exelan Flex DXは、さまざまなアプリケーションで使用できる高度な成膜プロセスを備えています。薄膜成膜や、大面積の基板のエッチングやアッシングに一般的に使用されます。XeF2、 O2、 NF3、 Cl2、 Arを含む4つの選択可能なソースがあります。Exelan Flex DXは、幅広い材料や基板に対応するように構成できます。LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DXの主な利点の1つは、ハイスループット機能です。使用される構成およびプロセスパラメータに応じて、1時間あたり最大37uレイヤーを生成できます。エッチャー/アッシャーは完全に自動化されており、プロセス制御とプロセス監視が組み込まれています。2300e4 Exelan Flex DXは、優れたプロセス品質も提供します。調節可能なプラズマ密度と圧力制御により、蒸着プロセスの均一性と再現性が向上します。Exelan Flex DXには、洗浄プロセスを合理化し、プロセスの再現性を向上させる高度な洗浄システムも装備されています。さらに、LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DXは、いくつかの重要な安全機能を提供します。これらには、緊急またはプロセスの不規則性の場合の自動シャットダウン機能、およびロードロックおよび基板ホルダーセーフティシステムが含まれます。これらの安全機能により、エッチャー/アッシャーはリスクを最小限に抑えた幅広いアプリケーションで使用できます。全体として、2300e4 Exelan Flex DXは、大容量の3次元エレクトロニクスおよび大面積の蒸着アプリケーション用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。優れたスループットとプロセス品質、および最適な安全性とプロセス再現性を確保するための重要な安全機能を提供します。