中古 LAM RESEARCH 2300 #9407004 を販売中
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ID: 9407004
ヴィンテージ: 2006
Etcher
EFEM
TM
AC Rack
Spare parts
(4) PTC LANTRA 1300
Load port
RF Cart
Gas frame
RPDB
Gas box
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300は、LAM RESEARCH Corporationが開発した業界をリードする先進的なウェットエッチング/アッシング機器です。このシステムは、高密度の半導体ウェーハを処理し、優れたエッチングの一貫性と均一性を提供するために特別に設計されています。2300ユニットは、以前に利用可能なウェットエッチングシステムよりも高いレベルのパフォーマンスを提供するように設計されており、業界をリードするエッチング速度、均一性、および精度を提供するために、受賞歴のある特許取得済みの技術を備えています。LAM RESEARCH 2300は、包括的なプロセスガスを提供するケミカルデリバリーマシン（CDS）と、基板温度を正確に制御するための2つの熱交換器で構成されています。CDSと熱交換器の両方が、信頼性、再現性、一貫したエッチング性能を確保するために、組み込みコントローラを介して積極的に維持および最適化されています。2300には、高度なエッチャープラズマ発生源を収容するプロセスチャンバーも含まれています。このユニークなソースは、さまざまな種類のプラズマタイプと周波数を生成することができ、CDSおよび熱交換器と一体となって、ウェーハの密度全体にわたって優れたエッチング結果を提供します。さらに、LAM RESEARCH 2300ツールはインストールとメンテナンスが簡単で、信頼性と安全性を確保するためにさまざまな安全性と診断機能を備えています。また、幅広いウェーハキャリアと互換性があり、1日あたり最大400万個のウェーハをサポートし、大規模な生産に極めて高いスループットを提供します。結論として、2300は、最高レベルの性能と信頼性を提供する強力で高度なエッチングとアッシングモデルです。業界をリードするハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより、幅広いプロセスおよび基板タイプで優れた結果が保証され、直感的な設計と診断機能によりセットアップとメンテナンスが簡素化されます。
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