中古 LAM RESEARCH 2300 #9377279 を販売中

LAM RESEARCH 2300は、ウェーハ加工用途向けに設計されたエッチャー/アッシャー装置です。さまざまなサイズのウェーハから材料をエッチング、除去、堆積することができます。2300システムは、高いスループット、再現可能な精度、および低コストの所有コストのために設計されています。LAM RESEARCH 2300エッチャー/アッシャーは、55mmから200mmまでのウエハサイズに対応できます。ポリシリコン、ポリイミド、酸化物、窒化物、金属など、幅広いエッチング率の材料を堆積およびエッチングすることができます。また、精密エッチング機能を備えており、高品質な機能をタイトなプロセス制御で作成できます。特徴としては、マルチゾーン真空ベースエッチングチャンバー、窒素パージシステム、ヘリウムパージシステム、エッチングガスの高精度な供給を可能にする低温ポンプ、エッチング用イオン源、高速基板搬送機を搭載しています。このツールには、プロセスの最適化を可能にするin-situ診断アセットも含まれています。2300のエッチングの均一性は、同様のサイズ、厚さ、および材料のウエハを処理するときに非常に反復可能です。真空成膜機能により、材料の半選択成膜も可能です。さらに、このモデルはオペレータに安全な作業環境を提供するように設計されており、安全でない状態が検出された場合に自動的にシステムをシャットダウンするセンサー機器などの追加の安全機能を備えています。また、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、プロセスパラメータやその他の設定を簡単に監視および制御できます。GUIを使用すると、ユーザーはカスタムレシピをアップロードしてエッチング処理を迅速化することもできます。LAM RESEARCH 2300エッチャー/アッシャーは、同じハイエンドベンダーの他のマシンと同様に信頼性が高く、十分にサポートされています。その使いやすさと精密なエッチング機能により、多くのウェーハ処理アプリケーションに適しています。