中古 LAM RESEARCH 2300 #9032646 を販売中

LAM RESEARCH 2300は、薄膜成膜および加工に使用される最先端のエッチャー/アッシャーです。半導体、フラットパネルディスプレイ（FPD）、薄膜太陽光発電（PV）製造など、さまざまな業界で使用できる高度な自動精密メッキ工具です。2300は、オプションのマルチウェーハプラットフォームで使用すると、最大4,096個の独立したウェーハパターンを生成できます。また、事前プログラム可能なレシピとリアルタイムプロセスモニタリングによる高度なプロセス制御、および最大8つのプロセスステーションと最大8つのプロセスチャンバーをサポートできるモジュール設計も備えています。LAM RESEARCH 2300には、レジストデリバリーシステム、レーザーガイドオートウェッタビリティプロファイリング（LGS-AWP）など、成膜コストを削減し、処理時間を最小限に抑える高度なプロセス技術が搭載されています。このマシンは、ウェーハサイズの広い範囲にわたって高い再現性と均一性を備え、前処理から後処理まで、完全なめっきソリューションを提供することができます。その高速なサーマルプロファイルは手動ウェハーマスキングの必要性を排除し、ソリッドステート電源は優れた出力安定性とレシピの再現性を提供します。さらに、事前プログラムされたレシピとリアルタイムプロセスモニタリングにより、2300は優れたプロセスの均一性とパフォーマンスを提供します。これは、高度な精密薄膜成膜および加工ニーズのための信頼性と洗練されたエッチング/アッシャーの選択肢です。