中古 LAM RESEARCH 2300 #293657750 を販売中

LAM RESEARCH 2300は、半導体およびその他のマイクロエレクトロニクス用途向けに特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。2300は、高度なプラズマエッチング技術を活用して、最も複雑なデバイス構造を精密にエッチングする環境を作り出しています。プラズマ放電を発生させてチャンバー内に高温条件を作り出し、クリーンで精密なエッチング処理を可能にします。次に、時間、電力、ガス組成、圧力などのエッチングパラメータのセットを設定します。LAM RESEARCH 2300は、エッチングされる特定の構造と材料を最適に処理するように構成されます。2300は、2段階の容量結合プラズマ源と1 Step™基板チャックテーブル間のパルスRFプラズマ放電を使用します。この技術は、エッチング工程全体にわたって優れたプロセス制御を可能にします。LAM RESEARCH 2300には、LAMのSmart Processing Controllerが搭載されており、ユーザーはシステムのコンピュータインターフェースからエッチング処理を制御および監視できます。このコントローラは、エッチングの問題を自動的にトラブルシューティングし、ユーザーに即座にフィードバックすることができます。2300はまた、エッチャー全体に均一なプラズマ密度を生成し、最適なプロセス制御のために幅広いガスを利用し、複数のプロセスステップの物理特性とエッチプロファイルの両方において高い均一性を提供することができます。また、ビームプロファイリングや製品品質維持のための横方向の制御などの機能も含まれています。LAM RESEARCH 2300は、メンテナンスを最小限に抑え、ウェーハの迅速な配送と効率的な運用に最適化されています。業界をリードするPrecision Modular®トラック設計を採用しているため、基板転送やエッチングの時間を短縮し、デバイスの歩留まりを向上させ、よりクリーンな処理を実現できます。全体として、2300はオールインワンエッチングおよびアッシャーであり、さまざまな半導体およびその他のマイクロエレクトロニクス用途に精密で均一なエッチング処理を提供するように設計された高度なエッチングおよびアッシング技術を備えています。最適な基板スループット時間を維持しながら、メンテナンスを最小限に抑えて高精度のエッチング結果を提供するように設計されています。