中古 LAM RESEARCH 2300 #293654544 を販売中

LAM RESEARCH 2300は、業界をリードする反応性イオンエッチャーおよびアッシャーであり、プロセスチャンバーで動作します。この完全自動化されたシステムは、エッチングおよびアッシングプロセスで正確な直線性、均一性、再現性を達成することができます。半導体・研究開発産業向けに設計された2300は、多様なプロセスの要求に対応できる柔軟性と精度を提供します。LAM RESEARCH 2300は、洗練されたシャワーヘッドデザインを活用して均一なエッチプロファイルを作成します。この組み込まれたデザインは、より効率的で均一なエッチングプロセスを作成し、最終的にはウェーハ全体でより正確なエッチング深さと均一性をもたらします。2300も完全なワンピースシステムとして設計されており、より良いアクセシビリティを付与し、サービスを強化します。ワンピースの設置により、ウェーハ保護エリア外のオーバーヘッドトラックは最小限のスペース要件に保たれます。LAM RESEARCH 2300には、高周波および電力変調を含む最新のプロセス技術が搭載されており、エッチング用のガス流量または圧力のいずれかを選択することができます。これらの機能を組み合わせて、特定のアプリケーションタイプのニーズに合わせたエッチングプロセスを最適化できます。さらに、2300は温度制御と均一性を提供し、ウェーハ全体にわたって高精度のプロセス制御と温度分布を提供し、信頼性と再現性の高いプロセスに貢献します。LAM RESEARCH 2300は、高精度プロセスに加えて高度な安全機能を備えています。Virtual Guard Technology （VGT）は、ウェーハ保護領域における保護シールドを継続的に監視し、不適切な使用による潜在的な危険から機器とユーザーを保護する組み込みセンサーのシステムです。結論として、2300は、半導体や研究開発産業を含む多種多様なプロセスの要求に応えることができる正確で信頼性の高い自動プロセスを提供します。そのワンピース設計とバーチャルガード安全技術は、アプリケーションの種類に関係なく、すべてのエッチングとアッシングのニーズに最適なソリューションです。