中古 LAM RESEARCH 2300 Versys #9240187 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Versysは、太陽電池の製造および製造に使用される高度なエッチャー/アッシャー装置です。これは、高度なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）技術を利用して、特定の材料を選択的に除去し、高温および高精度で他の材料を塗布することができます。このマシンは、さまざまな生産設定で使用するように設計されており、生産性と歩留まりを向上させるための特許技術を持っています。高度なエッチングおよびアッシングシステムにより非常に高い精度を提供し、プロセスの正確な制御と再現性を可能にします。従って、それは太陽電池および他の薄膜の適用の精密な層を作成するのに使用することができます。2300 Versysには高精度で正確な位置決め装置が装備されており、垂直方向と水平方向の両方で優れた再現性を発揮します。また、ユーザーフレンドリーな制御システムを備えており、操作が簡単で、プロセスがスムーズかつ効率的に実行されるように高度な監視システムが装備されています。エッチャー/アッシャーは、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスで構成することもでき、最大チャンバーサイズは直径1000mmで、より大きな太陽電池や他のタイプの大型薄膜アプリケーションに適しています。また、必要に応じて外部冷却機に接続することも可能ですが、材料の温度を維持するのに役立つ自己完結型の冷却ユニットで設計されています。LAM RESEARCH 2300 Versysは、最大2800 Wの電力定格で動作することが可能で、材料を極端な速度で高精度に加工することができます。また、高度なPECVD技術により、従来のPECVD技術の3倍の高速速度で高品質のコーティングを基板に堆積することができます。このように、この高度なエッチング/アッシング装置は、太陽電池の製造および製造、およびその他のさまざまな薄膜アプリケーションでの使用に最適です。その高精度で制御されたプロセスにより、ユーザーは非常に効率的な方法で均一で高品質のコーティングを作成することができます。