中古 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9296974 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyoは、多種多様な材料の高度で自動化された加工用に設計された高性能、精密エッチング、アッシング装置です。このシステムは、半導体グレードから高温アプリケーションまでの基板において、制御されたエッチングおよびアッシング操作を提供する、産業用および研究開発用途の両方に最適です。このバッチ処理ユニットは、世界クラスの生産性、再現性、およびスループットを提供し、さまざまな化学ソリューションとの互換性を提供します。この機械は、エッチングおよび灰メタライゼーション用のプロセスチャンバーを備えており、最大6 「x 8」までの可変基板サイズを提供し、より大きな基板に対応し、プロセス間の時間を短縮することができます。また、精密な加工を容易にするための高度な温度および圧力制御、および柔軟な製造能力のための複数の加工レシピも備えています。Versys Kiyoは、高精度な処理と制御機能を提供するように設計された高度なエッチコントローラを備えています。自動エッチング精密制御機能により、最適なエッチング開始時間が自動的に決定され、エッチングの一貫性と再現性が向上します。また、高度なプロセスフロー制御を提供し、溶液温度、ガス流量、圧力、およびその他の重要なパラメータを正確に管理できます。このツールはまた、スタンドアロンおよびPC駆動の操作のための高オートメーションコントローラを備えています。インテリジェントオートメーションは直感的な操作を可能にし、排気ガス検出システムは高度な安全保護を提供します。また、Versys Kiyoには多層エッチング（MLE）パワーモジュールが搭載されており、多種多様な金属を基板上に銅や金属層をエッチングすることができます。この機能により、複雑な電気構造を高精度にエッチングできます。2300 Versys Kiyoは、堅牢で高効率なエッチングおよびアッシング資産であり、最も要求の厳しいアプリケーションのニーズを満たすために優れた性能と柔軟性を提供します。Versys Kiyoは、高度なプロセス制御、組み込みの安全機能、柔軟な製造機能を備え、幅広い産業および研究開発の製造アプリケーションに一貫した信頼性の高い操作を提供します。