中古 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9240730 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyoは、さまざまなアプリケーションに適した高度なエッチャー/アッシャーです。高性能なガス供給と制御、堅牢な機械設計、直感的なユーザーインターフェイスツールを組み合わせて、エッチングとアッシングプロセスに強力なソリューションを提供します。エッチャーとして、2300 Versys Kiyoは最大50種類のエッチングレシピで精密エッチング機能を提供します。また、8インチまたは12インチのウェーハを保持できる最大300ウェーハ位置も可能です。各エッチレシピは、基板形状、シェーディング、エッチング深さなどの最適化されたパラメータでプログラムされています。LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyoは、エッチング用途向けの効率的なプロセスツールとして設計されています。プロセスチャンバーの最大容量は6リットルで、一度に最大6個のウェーハを処理できます。このツールには、レチクル中のイメージオーバーレイのオートフォーカス機能を備えたウェハダイレクトビューアライメント装置も含まれており、製造時間を短縮します。さらに、このツールには、高度なエッチング処理に必要なガス混合物を正確に制御するガス混合システムが含まれています。このガスミキシングユニットは、完全自動ガスソースの選択と制御を備えているため、ユーザーはプロセスをすばやくプログラムして最適化できます。2300 Versys Kiyoは、安全な操作を保証するための多くの安全機能も提供しています。このツールには、ターボ分子ポンプとイオンゲッター二次ポンプの両方を備えたデュアルステージ真空機が装備されています。これにより、運転中にチャンバーが安全な真空レベルに保たれることが保証されます。このマシンはまた、チャンバー内の酸素の安全でない蓄積がある場合にオペレータに警告する酸素警報ツールを備えています。全体として、LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyoは、さまざまなエッチング用途に正確な結果を提供する信頼性の高い強力なエッチャー/アッシャーです。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、高度なガス制御、安全機能により、生産レベルのエッチングおよびアッシングプロセスに最適なソリューションです。2300 Versys Kiyoは、堅牢な機械設計と正確なガス供給資産により、さまざまな基板のエッチングとアッシングのための信頼性の高い効率的なソリューションです。