中古 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9152530 を販売中
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ID: 9152530
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
Metal etcher, 12"
Loadport: SMIF (EFEM)
Metal core tool
Process chamber:
(2) Metal etchers
(2) MWAVE Strips
SMIF:
Signal tower: (3) Colors
(3) Load ports, 799-901175-004
ATM Robot, P/N: 151864
Buffer station: (25) Slots
Aligner
Transfer chamber:
Load lock: (2) LL / (4) Slot cool chambers
Model of transfer robot: Megatran7 / Brooks
Parts no. of rocker valve: (4) 853-007859-9223
TM Pressure gauge: HPS Series 907 / MKS
TM Pressure control: MKS Series 640
LL Pressure gauge: Hasting
Etch chamber:
PM2 & PM3:
pressure gauge: MKS, 0.1 Torr
Throttle gate valve: 65048-PH52-ADR1 / VAT
Turbo pump: ATH2300M / Alcatel
TCP RF generator: APEX2013 / AE
Bias RF generator: APEX1513 / AE
MW Chamber:
PM1 & PM4:
Model of chamber: 2300 MWAVE STRPR
Throttle gate valve: 65048-PH52-ADR1 / VAT
MW Generator: Revolution, 7690LAM-23
Configuration of MFC:
Ar 2SLM
O2 5SLM
N2 1SLM
Gas panel, etch chamber:
PM2:
Type of gas panel: 16-Line IGS gas box
Type: Block
16-Gas channels
MFC: SFC2480FAAPD2
Configuration of gas:
O2 20 SCCM
NF3 150/500 SCCM
CF4 60/200 SCCM
SF6 60/200 SCCM
HBr 30/100 SCCM
CH2F2 6/20 SCCM
SiCl4 20 SCCM
SiCl4 60/200 SCCM
CHF3 30/100 SCCM
Ar 150/500 SCCM
N2 60/200 SCCM
Cl2 15/50 SCCM
O2 150/500 SCCM
BCl3 50/200 SCCM
CF4 15/50 SCCM
Cl2 150/500 SCCM
PM3:
Type of gas panel: 16-Line IGS gas box
Type: Block
16-Gas channels
Model of MFC: SFC2480FAAPD2
Configuration of gas:
O2 20 SCCM
NF3 150/500 SCCM
CF4 60/200 SCCM
SF6 60/200 SCCM
HBr 30/100 SCCM
CH2F2 6/20 SCCM
SiCl4 20 SCCM
SiCl4 60/200 SCCM
CHF3 30/100 SCCM
Ar 150/500 SCCM
N2 60/200 SCCM
Cl2 15/50 SCCM
O2 150/500 SCCM
BCl3 50/200 SCCM
CF4 15/50 SCCM
Cl2 150/500 SCCM
Power: 208 VAC, 3 phase, 4 wires, 400 A, 50 / 60 Hz
2009 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyoは、高度なアプリケーション向けに設計された高性能エッチャー/アッシャー装置です。高度な温度制御、精密な圧力監視、プロセスの柔軟性の向上を実現します。Versys Kiyoは、無機材料と有機材料の両方を含む様々な基材や材料をエッチングし、アッシャーすることができます。イオン化モードと非イオン化プラズマモードの両方を備えており、プロセスの柔軟性を最大限に高めています。このシステムには、所望のパラメータを迅速かつ正確に設定し、一貫したプロセス結果を提供する独自のデジタル画像処理モジュールが装備されています。2300 Versys Kiyoは、室内設計において、直径24インチの円筒形原子炉室を有しています。移動可能な内部の電極はグラファイトから成り、部屋全体に優秀な均等性および精密な温度調整を提供します。また、チューブマウントされたベローズがあり、チャンバー内の一定のガス圧力を維持し、信頼性の高いウェーハの均一性を保証します。このユニットにはクライオポンプも装備されており、チャンバーは10-6 torrの真空レベルを達成することができます。さらに、Versys Kiyoは、高速シャッターツーリングを提供する最新世代のLAM RESEARCH機器です。この高度なツーリング技術により、最適なプロセス条件が満たされていない場合でも、チャンバーをすばやくシャッターさせることができます。また、高速シャッターはダウンタイムを大幅に削減しながらも、一貫したプロセス結果を維持します。LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyoは、柔軟で信頼性の高い予測可能な性能を提供するために設計された包括的な機械です。正確な温度制御と信頼できる圧力監視の組み合わせにより、ユーザーはより速く、繰り返し可能なプロセス結果を期待できます。自動化された機能監視、予測エラー検出、さまざまなサポートおよびメンテナンスツールが付属しています。このツールは、さまざまなプロセスレシピとも互換性があり、ユーザーはすぐに希望のレシピを選択して変更することができます。2300 Versys Kiyoは、ハイエンドのアプリケーションに安全で繰り返し可能なエッチング/アッシング資産を提供します。
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