中古 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9137280 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyoは、高度なパッケージングやMEMSデバイスの製造からSOI基板の調製に至るまでのアプリケーションに最適なハイテクエッチャー/アッシャーです。この強力なツールは、湿式、乾式、およびプラズマプロセスでエッチングすることができ、さまざまなデバイスに対応する汎用性の高いオプションです。エッチングプロファイルを精密に制御するための3次元電磁石を備えているため、重要なエッチングプロセスに最適です。さらに、このツールには、高速、低温エッチング処理を可能にするクライオジェンフリーおよび垂直チラー装置が装備されています。また、高効率フィルターユニットにより、クリーンで汚れのないエッチング環境を実現しています。このツールは、ヒ素ガリウム、シリコン、貴金属など、さまざまな材料や基板をエッチングすることができます。深さの範囲の20から1,000のフライス盤まで及ぶ異常な精度で材料をエッチングすることができます。また、2段ガスデリバリーマシンも装備しており、様々なエッチング化学や反応ガスを可能にしています。また、高精度のステップモーターと、簡単にプログラム可能で、ユーザーが必要とするエッチングパターンの生産を可能にするデジタルパターンジェネレータを備えています。さらに、このツールは、1Dライン、2D円、3Dマルチアングル、および4D複雑な形状をエッチングすることができます。さらに、このツールにはレーザーアライメントのアセットが含まれているため、さらに高い精度が得られます。さらに、2300 Versys Kiyoはロードロックチャンバーで設計されており、高度なサンプルハンドリング機能を備えています。このモデルは、より高速で効率的なプロセスを可能にする高効率バルクエッチング構成で設計されています。最後に、このツールは包括的な監視装置を備えており、複数の標準メッキプロトコルに準拠しているため、さまざまなエッチング用途に最適です。