中古 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #293762655 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Polyは、ポリシリコンエッチングおよびガラス誘電材料用に設計されたエッチング装置です。この高度なエッチャーは、完全な基板サイズ範囲にわたって精密な再現性と均一性を備えた高分解能パターニングプロファイルを生成できる、高スループットで完全に自動化されたプラットフォームを備えています。Versys KIYO Polyの高解像度パターニング機能により、フォトマスク、ゲート誘電体、電子デバイス製造などの用途に最適です。Versys KIYO Polyシステムは、プラズマベースのエッチング処理を利用して、高精度の垂直壁フィーチャー、ストレートジオメトリ、シャープなエッジを最小限に抑えます。パターンサイズ、線幅、アスペクト比の異なる柔軟性を備え、幅広いユーザーフレンドリーなプロセス範囲を備えています。過圧、プロセスオートメーション、スループット制御のオプションを備えた高度な構成が可能です。エッチャーはまた、最適なエッチング品質を確保するための高度な統合プロセス監視を提供しています。これには、リアルタイムエッチングプロセスの結果に基づいて自動プロセスパラメータを調整した自動シーケンスレシピが含まれます。また、高度な温度制御、深度測定、エンドポイント検出機能を備えており、ポリシリコンフィルムの正確なエッチングが可能です。Versys KIYO Polyは、高い信頼性と低メンテナンスで動作するように設計されています。低温ガス供給システムを利用し、頻繁なリセットの必要性を減らす自己プログラミング炉を含んでいます。このユニットには、静かで低塵動作を提供する統合されたサブアンビエントドライポンプも装備されています。Versys KIYO Polyマシンは、優れたエッチング性能を提供するように設計されており、高精度、高分解能ポリシリコンエッチングに特に適しています。このツールは、完全に自動化されたユーザーフレンドリーな設計により、高精度、高速スループット、および低メンテナンスを必要とするアプリケーションに最適です。