中古 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9378309 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45は、ウェーハ上の材料の層を除去するマイクロエレクトロニクスおよびフォトリソグラフィ用途向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。Versys Kiyo 45は、LAM RESEARCHの古典的なVersys Kiyoシリーズのアップデートで、パフォーマンス、信頼性、使いやすさを向上させました。Versys Kiyo 45は、450°Cの温度範囲を備え、より高い温度と複雑なパターンのより効率的なエッチングを可能にします。その1KW オゾン/RF電源は精密エッチングが可能であり、基板の熱均一性を損なうことなく優れた温度均一性を提供します。特許取得済みのFree Space Ozoneレーザーは、ウェーハ表面に均一なビームを供給し、ハードウェアの複雑さを最小限に抑えた正確なエッチングを可能にします。Versys Kiyo 45のユーザーフレンドリーなデザインには、直感的なタッチスクリーンコントロールと、プロセスパラメータを簡単に監視できる大型ディスプレイが含まれています。シーケンシャルと並行エッチングを含むさまざまなサイクルプログラムが利用可能です。Versys Kiyo 45は、エッチングプロセスの実行を最適化し、ドリフトを最小限に抑えるように設計された耐久性のあるステンレススチールチャンバーを備えています。高品質のオゾン配送管は、高精細エッチングパターンを保証し、非均一な結果の潜在的なリスクを低減しながら、製品サイクル時間を短縮します。Versys Kiyo 45は、基板の表面特性に関係なく、エッチング深度の均一性を確保する自動調整ノズルも備えています。Versys Kiyo 45は、ユーザーの安全性を確保しながら汚染を低減する2段フィルター装置など、多くのユニークな機能を提供しています。Versys Kiyo 45は、外部電界からプロセスチャンバーを保護する磁気シールド付きのクリーンルーム対応設計も提供しています。Versys Kiyo 45はまた、手動操作の必要性を排除し、オペレータのエラーのリスクを最小限に抑える革新的なウェハデリバリーシステムを備えています。要するに、LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45は、マイクロエレクトロニクスおよびフォトリソグラフィ用途向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。Versys Kiyo 45は、450°Cの温度範囲、1KW Ozone/RF電源、Free Space Ozoneレーザー、直感的なタッチスクリーン制御、および包括的なサイクルプログラムで、パフォーマンス、信頼性、使いやすさを向上させます。Versys Kiyo 45は、耐久性のあるステンレススチールチャンバー、2段フィルターユニット、自動調整ノズル、磁気シールド付きクリーンルーム対応設計、革新的なウェハデリバリーマシンも備えています。