中古 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9363127 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45は、プロセス開発とIC製造に使用される高性能エッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、デバイス生産の厳しい要件を満たすための高度なプロセス機能を提供します。様々なエッチングやアッシング処理に使用できる汎用性の高いツールです。金属エッチング、誘電エッチング、熱分解、ハロゲンとの接触エッチング、ガスとの接触エッチング、ハロゲンとガス相の混合リアクタントとの接触エッチングなど、さまざまなエッチング技術をサポートするように設計されています。また、深層RIEやプラズマ処理などのアッシング処理もサポートしています。この汎用性により、ユーザーはシステムの再構成を最小限に抑えて、特定のプロセス開発や生産プロセスをサポートできます。Versys Kiyo 45では、プロセスレシピを最大50ステップ、最大256 × 256アレイ、リアルタイムOPC（光学クリティカル・ディメンション）測定により、現場でのプロセス品質とオンデマンドを確認することができます。この検査室は、最大40 × 30mmの視野を持ち、ウェーハやワークピースの物理的特徴を分析するために使用できます。LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45は、圧力制御の優れたレベルのために0-45 l/minから駆動できるポンプセットを利用しています。同時に、Versys Kiyo 45はオートオプトサイクルおよびオートクリーンサイクル内で動作する完全自動ツールであり、エッチングおよびクリーニングプロセスをサポートするためにさまざまなガスや化学物質を利用しています。Versys Kiyo 45はまた、ユーザーがエッチング/灰システムに導入される粒子の可能性を減らすことを可能にするオプションのろ過をユーザーに提供します。このシステムはまた、液相または気相のいずれかのプロセスでクリーンインプレイス機能を提供します。全体として、2300 Versys Kiyo 45は高度で高性能なエッチャー/アッシャーです。優れた再現性、ツール内蔵検査によるオンデマンドのプロセス監視、オプションの濾過およびCIPプロセスをユーザーに提供します。Versys Kiyo 45は、高精度のIC加工をサポートするための理想的な選択肢です。