中古 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9282805 を販売中

LAM RESEARCH Kiyoは、LAM RESEARCHが設計・製造した最先端のハイスループット誘電エッチャー/アッシャーです。従来のウェットエッチングとドライアッシングプロセスの両方をサポートしており、ウェーハの洗浄とさらなる処理前の準備が可能です。革新的な設計により、高精度な誘電エッチング/アッシングを実現する優れたツールです。デュアルステージプロセス機能と回転可能なチャックにより、均一性を向上させます。窒化物や酸化膜など様々な誘電体をエッチングすることができ、高K金属ゲートスタックも可能です。LAM RESEARCH Kiyoは、最大チャンバーサイズ331mm、最大ベークプレート温度500°Cの1ウェハまたはポッドハンドリング構成で提供されます。パワフルな組込みワークセルコントローラを搭載し、高速なウエハのロード時間と正確なプロセス制御を可能にします。ワークセルには独自の仮想基板制御（VSC）システムが付属しており、高い反復性を実現します。このコントローラは、温度やガスの流れなどのリアルタイムウェハデータにアクセスし、プロセス制御を改善します。LAM RESEARCH Kiyoは、簡単で安全なメンテナンスとサービスのために設計されています。チャンバーにはデュアル圧力ポートが装備されており、シングルポートチャンバーよりも高速なプロセスサイクルを実現します。自動クリーニング機能は、LAM Clean Chamberソフトウェアを内蔵しており、メンテナンスのダウンタイムを最小限に抑えます。また、高精度温度制御、マルチガス機能、低粒子性能など、数多くの高度な機能を提供しています。LAM RESEARCH Kiyoは、精密なウェーハ作製のための信頼できるツールであり、一貫して高品質の誘電体製造を可能にします。歩留まり変動を低減し、最大の堅牢性を備えた高品質の複製物を提供します。