中古 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9260518 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45は中型エッチャー（アッシャーとも呼ばれる）です。その高度な機能と最先端の技術的機能により、精密半導体製造のための強力なツールとなります。エッチャーは、ソース・チャンバの45プラズマで構築され、フェースプレート、冷却/インターロック/ソース・プレートセット、および2つの別々の電磁コイルアセンブリで構成されています。この構造により、エッチャーはプラズマプロセスで高い均一性を維持し、再現性を最大限に高めることができます。マルチゾーンガス搬送システムとガスコントロールユニットを備え、複数のガスの流れを提供することができます。これにより、エッチングプロセスをさまざまなガス設定でカスタマイズできます。エッチャーは、エッチング粒子の様々なサイズや形状に合わせて調整できる高性能ガスリフトノズルを備えており、層から層まで一貫したエッチング形状を実現しています。エッチャーには自動クリーニング機能が搭載されており、長期使用でも残留物のないクリーンな作業環境を確保できます。これにより、手動クリーニングサイクルの数を削減し、ユーザーのためのクリーンで安全な環境を維持するのに役立ちます。LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45エッチャーは操作が簡単で、ユーザーがプロセスパラメータを制御し、プロセスを監視し、トラブルシューティングすることができるインタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が付属しています。高度な機能により、2300 Versys Kiyo 45は効率的で信頼性の高いエッチングプロセスを提供します。その精度と再現性により、半導体製造に不可欠なツールとなっています。