中古 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9252291 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45は、優れた精密なウェーハ加工用に設計されたエッチングおよびアッシャー装置です。この革新的なシステムは、集積回路やその他の高レベル電子部品の製造のためのフォトリソグラフィープロセスで使用される強力なツールです。ユニットは、優れたエッチングとアッシャー性能を提供するための高度な機能が搭載されています。機械の主なコンポーネントには、プロセスチャンバー、プラテン、ロボットアーム、無線周波数発生器、および光学ツールがあります。プロセス部屋はそれを腐食および他の粗い環境に対して抵抗力があるようにする高級な材料と設計されています。プラテンは、エッチングおよびアッシャー処理中に半導体ウェーハをサポートし、6つのサポートピンで固定されます。ロボットアームは、ウェーハをプラテンから他のアセットコンポーネントに移動させることができます。無線周波数発生器はプロセス部屋に接続され、必要なマスクかターゲットによって異なったレベルでモデルによって要求される無線周波数エネルギーを作り出すために責任があります。このエネルギーはウェーハに渡され、必要なエッチングまたはダッシャーのステップを受けることができます。最後に、光学機器は、正確なエッチングとダッシャーの結果を可能にするウエハにレジスト層のイメージを投影するように設計されています。LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45はモジュラー設計を採用しており、既存の商用製造プロセスへの容易な統合と幅広い半導体材料との互換性を実現しています。また、直感的なユーザーインターフェイスとタッチスクリーンモニターを搭載し、ユーザーの操作性を高めています。このユニットは、優れたスループットとプロセスの再現性を確保するために高度な機能を備えて設計されているため、堅牢なウェーハ処理を必要とするメーカーに最適なソリューションです。2300 Versys Kiyo 45は、高性能エッチング/アッシャープロセスマシンを搭載しており、高品質の半導体ウェーハを効率的かつ信頼性の高い方法で処理するための理想的な選択肢です。