中古 LAM RESEARCH 2300 Metal45-CIP #9298280 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Metal45-CIPは、さまざまな用途に最適な高度なエッチャー/アッシャー装置です。精密エッチングのための革新的でダイナミックな設計により、弱い金属やその他の機能を正確な仕様にエッチングすることができます。Metal45-CIPは、高いレベルのプロセス柔軟性と比類のないエッチングレートを提供するモジュラー式ドライエッチャーです。ディープリアクティブイオンエッチング、リモートリアクティブイオンエッチング、プラズマアシストエッチングなど、幅広いプロセスオプションを備えています。これらのプロセスオプションにより、ユーザーはさまざまな基板上で一貫した再現性のある結果を得ることができます。金属エッチャー/アッシャーは、自己完結型のゼロディフェクトコントロールシステムも備えています。このユニットは、ジョブ上でも機械上でも、ノードフェクトを確実にするために設計されています。このツールは、高度な診断機能も備えています。この機能により、オペレータはリアルタイムの変更を行い、プロセスパラメータに関する即時フィードバックを受け取ることができます。直感的で高度に構成可能なインターフェイスを備えたMetal45-CIPは、信頼性と再現性の高いプロセス結果を保証します。また、効率的なセットアップ、操作、および監視のための使いやすいグラフィカルインターフェイスをユーザーに提供します。直感的なインターフェイスにより、オペレータはプロセスパラメータをすばやく調整し、結果をリアルタイムで表示できます。このMetal45-CIPには、さまざまなサイズの互換性のあるチャンバと、柔軟なプロセスコントローラとRF駆動のプラズマソースが用意されています。また、圧力に敏感なアプリケーションのための堅牢な圧力制御を提供します。この機能により、オペレータは一定の範囲内の圧力を制御し、再現性と信頼性を確保することができます。また、Metal45-CIPには安全監視アセットが内蔵されており、処理室の過剰および低圧状態をチェックして安全な動作を保証します。安全監視モデルは、機器が安全で安全な方法でのみ機能することを保証するのにも役立ちます。全体的に2300 Metal45-CIP Etcher/Asherは、幅広い用途に精密エッチングを提供するように設計された高度なシステムです。多くのプロセス機能、直感的なユーザーインターフェイス、堅牢な安全監視システムを備えており、すべてのお客様に信頼性と再現性の高い結果を保証します。