中古 LAM RESEARCH 2300 Metal #9314599 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Metalは、さまざまな金属やその他の半導体材料のエッチングおよびアッシングに使用するように設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、3つのプラズマチャンバー、2つのエッチチャンバー、1つのアッシャーを備えたマルチチャンバー設計の助けを借りて達成されます。これは、一貫した金属エッチングと再現可能な結果のアッシングのための信頼性の高いプロセスソリューションです。エッチングチャンバーは、窒素、水素、酸素ベース、塩素ベースのガスなど、さまざまなエッチングガスの好みを使用して、さまざまな金属をエッチングすることができます。また、ユーザーフレンドリーなユーザーインターフェイスの助けを借りて簡単に実行される多数のプロセスレシピも含まれています。LAM RESEARCHはまた、効率的で均一なエッチングとアッシングを保証するために、統合されたマルチチャンバー構成を備えています。アッシャーは、金、銅、アルミニウム、チタンなど、さまざまな金属化された基板をアッシングすることができます。さらに、不動態層、誘電体、ポリシリコンなどの非金属化基板の幅広い品揃えも灰にすることができます。アッシャーは、1〜5ミクロンのアッシング深度を備え、プロセスの再現性は1％以上です。2300メタルは、排気安全プローブやチルトセーフティモニターなど、さまざまな安全機能を備えています。エキゾーストセーフティプローブは、チャンバー内で発生した圧力を監視して長時間の運転を行うように設計されています。チルトセーフティモニターを内蔵することで、エッチングやアッシングを防ぐためにチャンバーを適切に整列させ、基板の損傷を防ぎます。さらに、グラフィカルユーザーインターフェイスを備えた高性能で自動化されたコントローラを備えており、エッチングとアッシングプロセスを包括的に制御できます。統合されたユーザーインターフェイスにより、ユーザーはツールをすばやくプログラムし、エッチングとアッシュ処理を監視し、チャンバーパラメータの設定を変更/変更/読み取ることができます。コントローラは、他のエッチングシステムやオートメーション制御システムと容易に統合できるように設計されています。全体として、LAM RESEARCH 2300 Metalは金属エッチングとアッシングに最適です。基板の損傷を最小限に抑え、精度、信頼性を最大限に高めます。それはまた容易なセットアップおよび延長操作のための信頼でき、有効なカスタマーサービスと支持されます。