中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9302266 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、精密で信頼性の高いウェーハ処理用に設計された最先端のプラズマエッチャー/アッシャーシステムです。それは装置の足跡を最適化し、より精密な動きおよび制御を可能にする革新的で、密集した設計によって特徴付けられます。その高度な機能は、優れた静電界、精密なスキャン動作、正確な360°シングルウェーハエッチングのための精密なガスフローによって提供される卓越した信頼性と再現性によって補完されます。パワフルで先進的なKiyoは、特許取得済みのアーク検出メカニック（ADM）を備えており、エッチングプロセスを正確に制御し、優れたエッチング精度と均一性を保証します。このアプリケーションベースの制御により、ユーザーは適用されたガスの流れと圧力を調整して、ツールランサイクルの数を最小限に抑える精密なエッチング結果を得ることができます。また、フォトレジスト、タングステン、シリコン、高k誘電体などのエッチングが困難な材料でもエッチング性能を発揮します。これは、アプリケーション固有のウエハハンドリングモジュール（WHM）によって可能になり、高速スキャンで正確な動きとモーションコントロールを提供します。また、複数のスロットルバルブとマスフローコントローラを搭載し、ウェーハ表面における精密なガス制御と均一なガス分布を実現しています。これは、MEMSやマイクロプロセッシングなどのアプリケーションに不可欠な優れた再現性を提供します。また、エッチング前、エッチング中、エッチング後に空気や副産物を排出するための特許取得済みのポンプシステムである、クリーンエッチング結果の確実な配信を支援する機能も搭載しています。高度な機能に加えて、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）のおかげで、Kiyoは使いやすさのために設計されています。GUIにより、プロセスエンジニアはエッチングパラメータを簡単に設定し、ツールのパフォーマンスを監視し、プロセスレシピを最適化して、一貫性のある反復可能な結果を得ることができます。さらに、USBドライブにデータを転送し、ホストPCに接続してデータ操作や制御を行うことも可能です。全体的に2300 Kiyoは、ツールの実行時間を最小限に抑えながら、正確かつ再現性のある結果をユーザーに提供する理想的なエッチングソリューションです。革新的なモーションコントロール、精密なガスフロー、ポンプシステムやアプリケーション固有のWHMなどの高度な機能を活用し、あらゆるアプリケーションに最適なエッチング性能を提供します。