中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9161714 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、半導体メーカーのニーズに合わせて設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。ウエハー、基板、その他の材料のエッチングおよびアッシングに対する幅広い要求を正確かつ一貫した方法で管理することができます。エッチャーは、さまざまなサイズのウェーハを扱うことができ、さまざまな酸化物または窒化物の3つの層まで適用することができます。高度なエッチャーは多角形のマルチヘッドスパッタリング装置で構築されており、広い領域を簡単にカバーすることができます。それはエッチング環境を作成するように設計されている一連の真空チャンバーによって動力を与えられます。各チャンバーには、材料をエッチングするために使用できる専用のスパッタリングガン、または迅速なイオン爆撃に使用できる光学焦点イオンポンプがあります。エッチャーには、エッチング処理中に材料の完全性を確保するためのロードロック機構も含まれています。2300 Kiyo etcherには、さまざまな高度な制御および監視システムが装備されています。これらには、精密なガス流量制御用の二軸コントローラ、プロセス圧力を監視するための真空センサーのセット、および精密な温度制御用の高度なデジタル温度コントローラが含まれます。エッチャーには、サイクルデータロギングシステムの終了、プラズマ診断ユニット、アークセンシングマシンなど、多くのプロセス診断システムもあります。LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、高品質の集積回路を製造するための信頼性の高い堅牢なツールです。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と自動化されたプロセス制御により、効率的な生産が可能になり、オペレータは高度なプロセス設定にアクセスできます。優れたウェーハ歩留まりを確保するために、このツールにはいくつかのオプション機能があります。これらには、オートフォーカスツール、オゾンモニター、オプションのin-situ検出アセットが含まれます。また、オプションのデータロギングモデルを使用して機器のエッチング性能を監視することができ、オペレータはプロセスをよりよく理解することができます。これらの機能を組み合わせることで、2300 Kiyoはパワフルで汎用性の高いエッチングとアッシングツールとなります。