中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293829226 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、中量から少量生産のために設計されたエッチャー/アッシャーです。高いスループットを持つ、費用対効果の高い使いやすい機器です。2300 Kiyoには、お客様のプロセス要件を容易にエミュレートできるソース/ターゲットクランプと、エンドステーションのホットカソード・イオン銃が装備されています。21"チャンバーは、1"から18"のすべての基板を処理する機能を提供します。LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、カソードとアノードの独立した制御を可能にし、エッチング工程の最大限の最適化を実現するアナログマルチモードをサポートしています。2300 Kiyoは、サンプルの積み下ろし、エッチングレシピ、プラテンリフト、リークバルブ、ポンプダウンなど、幅広いプロセスオプションを提供しています。プロセス化学もお客様のニーズに合わせて完全にカスタマイズ可能です。LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、4パネルのLCDユーザーインターフェイスを使用して、操作とパフォーマンスの監視を便利にします。このシステムは、安全な作業環境を維持するために、連結チャンバードアで設計されています。さらに、2300 Kiyoには温度、圧力、抵抗などの測定が組み込まれており、完全なプロセス監視が可能です。ドライエッチングとプラズマエッチングが可能で、デバイスの性能を向上させ、結果の均一性を高めることができます。LAM RESEARCH 2300 Kiyoは設置面積が小さく、小規模生産地内に設置可能です。真空センサーをはじめとする高度な安全機能を備え、危険な化学物質への長期暴露など、オペレータに潜在的なリスクを検出します。2300 Kiyoには、メモリに異なるレシピ設定を保存する必要がないLANTIQ™デジタル制御も装備されています。LAM RESEARCH 2300 Kiyoの先進的な特徴は、エッチング率を低減し、プラズマ線維化を最小限に抑えるプラズマ放射制御です。2300 Kiyoは、中小規模の生産とプロトタイピングに最適です。機械は操作が簡単で、高度な安全性とプロセス監視機能が付属しています。それは顧客の厳密なプロセス条件を満たすように設計されています。小型基板でも一貫した結果が得られ、コストとスループットの短縮に役立ちます。