中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293829181 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、LAM RESEARCH Corporationの革新的なエッチングおよびアッシャー装置で、デバイス機能の信頼性、再現性、効率的な処理を提供するよう設計されています。上流と下流の2つの高度なエッチングシステム（Advanced Etch and Ash System （AEAS）とハイエッチングとアッシュユニット（HEAS））を備えています。オンボードのAIベースの高度なレシピは、シリコン構造に損傷のない優れたデバイス構造を達成するために、エッチングと灰プロセスを正確に制御することができます。AEASマシンは、デバイスアーキテクチャを超高レートで迅速にエッチングし、各ダイのプロセスパラメータをカスタマイズする機能を提供します。これにより、ツールは優れた再現性で驚異的な歩留まりを達成することができます。HEASアセットはさらに、優れた機能忠実度を維持しながら、ディープエッチングと浅いエッチングの両方の要件に対応する柔軟性を提供します。2300 Kiyoは高解像度イメージングモデルを搭載しており、ダイレベルの特徴を正確にモニタリングすることができます。これは、自動検査および自動補償機能と組み合わされて、正確で再現可能なデバイス構造の実行を可能にします。さらに、高度な監視機能により、プロセス制御パラメータが可視化され、プロセスがドリフトした場合のリモート調整が可能になります。LAM RESEARCH 2300 Kiyoの特長は、エッチング工程と金属蒸着工程の分離であり、デバイスの歩留まりの向上、検査時間の短縮、ポストプロセス性能の向上です。この装置の先進的なエッジツーエッジの均一性は、高品質のフィーチャー構造を生成するための厳しい公差内で均一なフィルム蒸着を保証します。さらに、システムは完全な計測機能を提供します。自動補償機能により、ダイ特性の迅速な測定が可能になり、制御性と歩留まりの向上が可能になります。このユニットは、最小限のエネルギーを使用しながら、優れた信頼性と可用性を提供し、エッチングとアッシングのニーズに最適な費用対効果の高いソリューションです。2300 Kiyoは、高性能と再現性を兼ね備えた最先端のエッチング/アッシャーマシンで、生産性に新たな基準を設定しています。