中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293775899 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Kiyoは自動エッチング/アッシュ装置で、ウェットプロセスとドライプロセスの両方の機能を備えた単一のツールで、複数のウェーハでエッチングとアッシュプロセスの両方を実行するように設計されています。このシステムは、信頼性が高く、効率的で費用対効果が高いように設計されています。自動化されたウェーハトランスポート、ウェーハハンドリング、複数のウェーハに対応するウェーハ冷却機能を搭載しています。それは自己含んだプロセス部屋を含み、信頼できる操作を保障するために堅い、耐食性のステンレス鋼から組み立てられます。このチャンバーは、すべてのウェーハに均一な熱およびプロセス条件を提供し、一貫したエッチングまたはアッシング性能を実現します。このユニットには、均一性を最大化し、プロセス材料の再配置を最小限に抑えるクォーツエッジリングも装備しています。2〜8インチのウェーハ径から幅広いサイズに対応可能です。タングステンやポリシリコンなどの高密度材料のエッチングやアッシングが可能で、高いアスペクト比の壁やビアなど様々な特徴があります。この機械はまた0。1ミクロンから0。5ミクロンまで及ぶ小さい通路、inclusionsおよび他の高いアスペクトの比率の特徴を処理することができる。Kiyoは、再現性のある正確なエッチングとアッシング性能を提供するように設計されています。高速で精密に調整されたマスフローコントローラと、リアルタイムデータロギング機能を備えたデジタルプロセスコントローラを備えています。このツールは、複数のウェーハを同時にエッチングおよびアッシングすることができ、非常に高速な処理スループットを可能にします。可変速度エッチングおよびアッシング用のプロセスガスの信頼性、調整性、温度制御が可能です。当社は、ウェーハの積み下ろし用の2段階真空アセットを搭載しています。また、オゾンフリーの層流を利用した自動ウェハクリーニングモデルを搭載しています。この機器にはオンラインウェーハ計測システムも含まれており、エッチングおよびアッシュ機能の精度と再現性を保証します。全体的に2300 Kiyo etch/ashユニットは、高品質のエッチングとアッシング性能を生み出す効率的で費用対効果の高い機械です。