中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293651549 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、多種多様な材料の精密エッチングとアッシングを可能にする高度なエッチャー/アッシャー装置です。システムには、統合されたロードロック、真空ポンプ、および湿度制御が装備されており、チャンバー内の雰囲気を正確に制御できます。このユニットは、200mm （8「）および300mm （12」）の両方の基板に対応するように設計されており、半導体ウェーハ、MEMS、およびその他の材料の精密なエッチングおよびアッシング機能を提供します。このマシンは、統合された真空ツールと高度に自動化されたプロセス制御を備えており、繰り返し可能で信頼性の高い結果を得ることができます。また、最大99のレシピのプロセスレシピ保存容量を持ち、リモート監視と制御のために他のシステムに接続することができます。2300キヨには、ダイレクトガススイープや安全インターロックなど、さまざまな安全機能もあります。LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、今日の市場で最も先進的なアッシャー/エッチャーの1つです。その精密な制御機能により、フォトマスク、MEMS構造、およびその他の細かく制御された構造の製造に適しています。また、半導体製造環境での使用に適しています。そのプロセスレシピストレージは、最適な条件をすばやく保存してリコールすることができます、ダウンタイムを回避。また、装置の稼働時間と結果の精度を確保するための高度な診断機能と自己診断機能を備えています。システムの小型化により、限られたスペースで正確な結果が必要なラボに最適です。2300 Kiyoは、フォトマスクやMEMS構造など細かく制御された製品の製造に最適な高度なアッシャー/エッチャーユニットです。高度に自動化されたプロセス制御、低粒子排出量、小型のため、限られたスペースで正確な結果を必要とするラボに最適です。