中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634890 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、半導体加工に使用される高度なエッチャー/アッシャーです。エッチング機能とアッシング機能を兼ね備えたシングルチャンバー装置です。このシステムは、プロセス結果を改善するために高度な技術と性能特性を備えて設計されています。2300 Kiyoは、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスと整理整頓されたセットアップオプションで、非常に使いやすく、メンテナンスが簡単にできるように設計されています。LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、集積回路の製造や不揮発性メモリの製造など、いくつかのアプリケーション分野で高い能力を持っています。このユニットは、最適なプロセス制御を確保するために、ガス注入ユニット（GIS）と多流ガス分配機（GDS）を使用しています。GISは高精度で再現性のあるフロー制御が可能であり、GDSは複数の独立したエッチャーレシピを同時に実行できます。さらに、このツールには、リモートエンドポイントチューニングや柔軟なレシピなど、さまざまなプロセスに適したさまざまな機能が含まれています。このエッチングアセットには、高速スキャナ、回転サンプルホルダー、アライメントモデルなど、さまざまなインデックス制御ハードウェアオプションもあります。これにより、マニュアルアライメントを必要とせずに、非常に複雑な構造を作成できます。この装置は、200°Cまでの温度で動作することができ、さまざまなエッチングプロセスで誘電体と導電性材料の両方を処理することができます。また、廃棄物回収システムやフロー真空封じ込めシステムなど、さまざまな安全・環境保護機能を備えています。直感的なHMIにより、ユーザーはすべてのプロセスパラメータと反応速度をリアルタイムで監視できます。これらの特徴はすべて、LAM RESEARCH 2300 Kiyoを半導体製造のための非常に効果的で効率的で信頼性の高いツールとしています。