中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634889 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、半導体業界で使用されるエッチャー、またはアッシャーです。半導体製造工程において、多結晶シリコン、ポリシドゲートスタック、ポリイミドフィルムなどの材料の表面をエッチングまたはパターン化し、パターンを形成するために主に使用されます。また、酸化物、ポリイミド、その他の材料膜を他の表面から除去します。2300 Kiyoはセミオートマチックのマシンで、一度に最大10個のウェーハを処理できます。エッチング速度とタイミングの正確な制御を可能にする精密エンドポイント検出器と、0。5°F以内の精密な温度制御を可能にするクローズループ反応温度制御を備えています。さらに、機械は粒子系が低いため、粒子の汚染が最小限に抑えられ、歩留まりが一貫しています。LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、半導体製造プロセスに最適な安全機能を多数備えています。それはエネルギー効率が良いように設計されており、空気の使用は本質的に安全になります。さらに、このマシンは危険なエリアへのアクセスを制限するように設計されており、インライン・インターロック・システムは意図しない放電を防ぎます。マシンの寸法は58x37x35インチで、内部チャンバーは4アップ設計で配置されており、エッジ間の最大均一性を実現しています。2300 Kiyoにはカーボンジェット検出器が内蔵されており、エッチング周期中の任意の地点におけるウェーハのエッチング速度をオペレータが監視できるようにすることで、より正確なエッチング制御が可能です。また、バスフリーの冷却システムを備えており、関連するメンテナンスコストを削減するのに役立ちます。結論として、LAM RESEARCH 2300 Kiyoは、安全性と正確性を念頭に設計されたセミオートエッチャーです。この汎用性の高いエッチャーは、低粒子放出、低消費電力、インラインインターロックシステム、内蔵のカーボンジェット検出器など、多くの利点を提供します。半導体業界に適しており、信頼性の高い性能と一貫した結果を提供します。