中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634814 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Kiyo EXは、業界標準レベルの高度な材料エッチング/アッシングと革新的なプロセス機能を提供できる効率的なエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、6インチまでのさまざまな基板に詳細な構造とパターンを正確にエッチング/アッシュするように設計されており、今日の最先端のエッチング/灰アプリケーションをサポートすることができます。2300 Kiyo EXには、内蔵された強力な超高真空（UHV）プラズマエッチング装置と高出力RFエネルギー源およびターボポンプが搭載されており、エッチング速度の安定性が向上し、エッチング選択性の向上を実現します。LAM RESEARCH 2300 Kiyo EXには、マルチチャンバー構成と、より細かい温度制御とクリーンな結果を得るための高度なチャンバー温度制御システムも含まれています。さらに、このエッチャー/アッシャーユニットには強力なロードロックマシンが装備されており、迅速かつ安全にウェハローディングとアンロードの高速化のために基板をプロセスチャンバーから出し入れすることができます。Kiyo EXは、高精度プラズマ制御のエンドポイント検出ツールを搭載しており、エッチング/アッシング操作時にエッチング/灰の深さを正確かつ一貫して測定することができます。高度な機能と最先端の機能を備えた2300 Kiyo EXは、大量のエッチング/アッシング操作に最適で、最も困難なエッチング/灰アプリケーションに対応する柔軟性を提供します。このエッチャー/アッシャー資産は、すべての主要なウェハクリーニングプロセスと互換性があり、あらゆる種類のエッチング/灰の要件を満たすために、均一性とスループットを向上させます。高度な制御機能とプロセス機能を備えたKiyo EXは、最先端のエッチング/アッシング性能を実現する信頼性の高い効率的なエッチャー/アッシャーです。