中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #9265975 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCXは、半導体業界で一般的に使用されるプラズマエッチング&アッシャー装置です。この信頼性の高いシステムは、高性能プラズマ源、フルサイズの紫外（UV）ランプ、および機能豊富なユーザーインターフェイスを備えています。2300 Kiyo MCXは、半導体デバイスのエッチング用に設計されており、高出力13.56MHz HF電源だけでなく、業界標準のC2F6、 NF3、 SF6ガスを備えています。また、シリコン、石英、SiGe、 SiN、 SiO2、 TiN、 TiO2、 Al、 NiCrなどのエッチングにも対応しています。このユニットには、完全に自動化されたユーザーインターフェイスも含まれており、ユーザーはプロセスレシピを迅速かつ簡単に設定、監視、変更できます。また、ガス制御の自動化を備えており、オペレータの介入を最小限に抑えながら、迅速かつ一貫したプロセスを可能にします。LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCXは、最大8つのレシピのプロセス条件を同時に制御することができ、加工の柔軟性とスループットを向上させます。このマシンは、低消費電力のため、低コストで省エネルギーを実現しています。ガスの流量を一定にすることで、材料のコストを削減する高効率ガス供給ツールを備えています。このアセットには、処理前後の自動モデルチェックなどの安全機能もあり、運用安全性を向上させています。これらの機能は、正確なプロセス制御とともに、2300 Kiyo MCXを多くの業界にとって理想的なエッチングおよびアッシングソリューションとしています。