中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #293636765 を販売中
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販売された
ID: 293636765
ヴィンテージ: 2012
Metal etcher
Missing parts:
Qty / Description
(3) / Load ports
(1) / ATM Robot
(1) / Aligner
(1) / EPX180N Pump
(1) / Terminal server
(1) / UI Computer
(1) / 24 V DC Power supply
(1) / ATM Robot controller
(1) / UPS
(1) / TM Solenoid bank
(1) / Scara arm
(1) / VTM Robot
(1) / Super slot board
(4) / Chamber rocker assemblies
(2) / Airlock rocker assemblies
(12) / STEC MFCs
(4) / TCP Matches
(4) / TCP Coil assemblies
(4) / ASSY, 2300 SYM Doors linkage
(4) / ESC, Bowl cover with hinges and pivots
(4) / MNMTR Ports, end PT
(4) / Liner, bias MNTG Plates
(4) / WLDMT, INTFC Chambers separate NOZ
(4) / INJ, Dual, FACSEAL, IEP, HNYCMB, CER
(4) / Windows, ceramic LSR repair
(4) / Windows, quartz
(4) / Rings, edge combo quartz, 12"
(4) / Multiport vacuum valves
(4) / Plasma door shaft sleeves
(4) / Windows, CER LLT CTD Bayonet 2300
(4) / ESC, Tunable M-Z, 12"
(4) / Chambers, top PC 2300 MTL/PL
(4) / TCR
(4) / Liners, SYM Hi-flow 2300 SRC
(4) / Liners, fixed outer ACME 230
(4) / Cantilever liners
(4) / ESC Insulator rings
(4) / HTR-FAN TCW Assemblies (Left hairdryer)
(4) / HTR-FAN TCW Assemblies (Right hairdryer)
(4) / Bias matches
(4) / He enclosures
(4) / PS 15 ABD 24 VDC
(4) / VME
(4) / VAT Pendulum 2300 Valves
(4) / 2.7 L Turbo VAC PMP
(4) / AC Enclosures
(4) / RF Carts
(4) / Node 1
(4) / Interlock boards
(4) / Proces manometers
(8) / Chamber and foreline manometers
(4) / TCP RF Cables
(4) / Bias RF Cables.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCXは、半導体製造業界の正確なニーズを満たすように設計されたエッチャー/アッシャーです。この先進的な装置は、半導体デバイス製造に使用される基板の湿式化学処理の要件に対応するために特別に設計されました。この装置の主な目的は、シリコンウェーハ上の材料の層を選択的にエッチングすることです。ナノメートルの厚さしかない特徴を生み出すために、極薄の材料を生産することができます。薄い層は、トランジスタなどの抵抗素子の寸法と特性を制御するために重要です。2300 Kiyo MCXは、バッチモードで動作するコンパクトな繰り返しマシンです。それは統合された磁気スプレーと完全な横の部屋および粉の分散システムが付いている3軸装置です。スプレーは、材料の均一な層を基板上に分散させ、その後、伝統的な湿式化学プロセスを使用してエッチング/アッシュすることができます。装置には、再循環フィルター、石英封筒、真空ユニットなど、いくつかのコンポーネントが含まれています。クォーツエンベロープは、抵抗素子からの熱が基板の他の領域に影響を与えるのを防ぎ、正確なエッチング/アッシングプロセスを可能にします。エッチングされた残留物と余分な材料を除去するために真空機械が使用され、再循環フィルターは最高品質の製品を保証するために汚染物や粒子を除去します。LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCXは、毎秒約10フィートの速度で動作するため、生産性と再現性が向上します。すべての湿式化学処理ステップは自動化されていますが、フィードバック制御システムを使用すると、プロセスを監視し、必要に応じてパラメータを簡単に調整できます。さらに、すべてのプロセスが安全に完了するように、アラームやインターロックなどの安全機能がツールに組み込まれています。2300 Kiyo MCXの高い精度と信頼性により、半導体製造業界の複雑な基板加工ニーズに最適です。自動化されたシステムと包括的な安全機能を備えたこのエッチャー/アッシャーは、高いスループットレートで高品質の製品を確実に生産することができます。
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