中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #293609176 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCXは、さまざまな半導体材料の高スループット、高精度エッチングを目的とした先進的なエッチング/アッシャー装置です。2300 Kiyo MCXは、最大2つのプロセスチャンバーとトランスファーチャンバーを備えた堅牢なデュアルコンパートメント設計を特徴としています。この高度なシステムは、すべてのプロセスパラメータに簡単にアクセスでき、堆積/エッチング操作を正確に制御できます。LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCXには、洗練されたリアルタイムモニタリングおよび制御ユニットが搭載されており、最適なパフォーマンスを確保するためにパラメータを自動的に調整することができます。2300 Kiyo MCXは、高度なエッチング/アッシング機能を搭載し、高いスループットで高品質のエッチング結果を得ることができます。このマシンには、デュアルパルスジェネレータを備えた3Dエッチング/アッシュツールとオープントレンチチャンバーの設計が含まれており、ユーザーは材料の処理に柔軟性を提供します。また、LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCXは、原子層成膜（ALD）や化学蒸着（CVD）などの先端材料成膜にも使用できます。2300 Kiyo MCXは、-25°C〜+80°Cの温度で直径300mmまでの基板加工が可能です。また、圧力ラインのシャットダウン、高速パージサイクル、低ドリフトモデルも備えており、正確な処理結果を保証します。また、LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCXには自動洗浄装置と自動チャンバー開閉システムを搭載し、ダウンタイムの削減と生産速度の向上に貢献しています。2300 Kiyo MCXエッチャー/アッシャーユニットは、優れたスループットで効率的かつ正確なエッチング処理を実現し、極限条件下でもプロセス精度を実現します。また、リアルタイムモニタリングと制御、高速パージサイクル、低ドリフトシステム、高スループットなどの高度な機能を備えており、ユーザーは高品質のエッチング結果と高品質の材料を短時間で生産できます。さらに、このツールを使用すると、プロセスパラメータに簡単にアクセスでき、それに応じて設定を簡単に調整できます。