中古 LAM RESEARCH 2300 Kiyo E Series #9407036 を販売中
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LAM RESEARCH 2300 Kiyo Eシリーズは、ウェーハエッチングとアッシング技術のプロセス再現性と精度を保証するデスクトップウェーハエッチャー/アッシャーです。ワンウェハで0。05mmの精度で300 WSPMのスループットでウェーハのエッチングとアッシング技術を実現します。半導体デバイスの製造、バイオセンサー、MEMSの製造、研究開発に最適です。2300 Kiyo Eシリーズは、複数のレベルの環境制御とインターフェースの互換性を提供するマルチキャビティタレット処理チャンバーを備えています。高感度のコンフォーマル加熱装置を搭載し、ウェーハ全体を均一に加熱することができます。これにより、繰り返し可能で正確な結果が保証されます。さらに、コンフォーマル加熱の向上による蒸着率が高いため、プロセス効率が最大限に向上し、廃棄物を削減できます。LAM RESEARCH 2300 Kiyo Eシリーズは、ウェーハの取り扱いを制御し、エッチングとアッシングに適した位置に正確に配置するデュアルアクション、ダブルリターンのエンドエフェクター機構も備えています。これは、正確な配置を提供し、製品の完全性を維持する高動的油圧システムを使用して行われます。エンドエフェクター機構は、50mmから200mmまでの幅広いウエハサイズにも対応しています。エッチャー/アッシャーには、エッチングとアッシングの流れを正確に制御できるインテリジェントなマルチポイントコントロールユニットもあります。この機械はまたプロセスの再現性そして有効性を高めるために変数を自動調整するために機械を可能にします。さらに、クリーンな設計アーキテクチャを使用して設計されており、最大のプロセス安定性を保証し、ツールのメンテナンス作業を削減します。最後に、2300 Kiyo Eシリーズは、緊急停止ボタンや安全カーテンなどのオペレータの安全性を確保する高度な安全機能を提供します。これは機械を作動させている間完全なオペレータ安全を保障します。
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