中古 LAM RESEARCH 2300 Flex #9244818 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flexは、精密エッチング処理用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスおよび薄膜製品における均一なエッチング深さ、アスペクト比、およびエッジトポグラフィーを提供するように設計されています。2300 Flexは、エッチングプロセスの高解像度制御、エッチングプロセスの自動アライメント、アダプティブエッチング補正などの高度な機能を提供します。これらの機能により、MEMエッチングなどの精密なエッチングプロファイルを含むプロセスに最適です。このマシンはまた、プロセス要件に基づいて異なるガス間の切り替えを可能にするユニークなマルチソース構成を備えています。これにより、特定の顧客のニーズを満たすことができるさまざまなエッチレシピを拡張することができます。LAM RESEARCH 2300 Flexは、さまざまなチャンバジオメトリを提供することにより、エッチングプロセスを正確に制御する柔軟性を提供します。これらには、円形、長方形、モジュール、カスタマイズされた形状が含まれます。さらに、エッチプロセスパラメータを厳密に制御するための高度なセンサー、コントローラ、駆動部品を装備することができます。2300 Flexは、さまざまなプロセスコンポーネントで構成することができ、さまざまなエッチングプロセスを可能にします。反応イオンエッチング（RIE）、反応イオンビームエッチング（RIBE）、低圧化学蒸着（LPCVD）、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、スパッタエッチング、急速熱処理（RTP）などがあります。LAM RESEARCH 2300 Flexには、容量結合プラズマ（CCP）、誘導結合プラズマ（ICP）、直流（DC）電源など、さまざまなプラズマ源オプションがあり、プロセス制御と特定のプロセス要件を強化できます。全体として、2300 Flexは高解像度のエッチングプロファイルと高速スループットの両方の機能を備えた、精密なエッチングアプリケーションに最適な資産です。また、さまざまなエッチングプロセスを実行することができ、カスタムニーズに最大限の柔軟性を提供します。