中古 LAM RESEARCH 2300 Flex #9157501 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flexは最先端のエッチャーおよびアッシャーで、半導体から研究および実験室の使用に至るアプリケーションに最適です。2300 Flexは、高強度の石英部品、石英ベローズ、ステンレス製プロセスチャンバー、堅牢な冷蔵プロセス冷却装置などの高性能コンポーネントを備え、比類のない性能と柔軟性を提供します。LAM RESEARCH 2300 Flexは、最高の真空レベルを維持できるプロセスチャンバーを備え、優れたウェーハ処理能力を提供するように設計されています。最大直径8インチの幅広いウエハタイプとサイズを処理できる2300 Flexは、利用可能な最も柔軟なエッチングおよびアッシングシステムの1つです。さらに、先進の楕円測定および光学機能により、プロセスを正確に制御できます。LAM RESEARCH 2300 Flexは、エッチングとアッシングプロセスを制御するための使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備え、いくつかのユーザーフレンドリーなコントロールを備えています。このシステムは、精密な制御とプロセス間のすばやく切り替える機能のために、自動および手動のプロセスモードの両方を提供します。さらに、2300 Flexはオンボードリーダーとリモートインターフェイスの両方を使用して、エッチングとアッシングプロセスを正確に監視します。LAM RESEARCH 2300 Flexは、さまざまな基板材料との互換性を確保するためにさまざまなプロセスモジュールで設計されており、プロセス効率と信頼性を向上させるための迅速なステップバイステップ処理を提供します。また、直感的なオンボードレシピ生成マシンを備えているため、ユーザーはエッチングとアッシングのレシピをすばやく作成して保存できます。このツールは、プロセス診断パッケージを内蔵しており、プロセス障害の根本原因を迅速かつ簡単に特定できるように設計されています。最後に、2300 Flexは、真空ポンプ、クーラントポンプ、およびガスレギュレータが内蔵されているため、スペースとエネルギー要件を最小限に抑えることができます。LAM RESEARCH 2300 Flexは、LAM RESEARCHの品質保証とサービスおよびサポートチームによって支えられています。