中古 LAM RESEARCH 2300 Flex #9157500 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flexは、半導体ウェーハ上の複雑なパターンを正確にエッチングおよびアッシャーするように設計されたエッチャー/アッシャー装置です。プラズマエッチング、イオンビームミリング、ケミカルエッチングなど、さまざまな技術に対応した高度な自動化システムです。このユニットは、統合されたプロセス制御、自動化されたステージモーション、およびレシピ駆動の機械操作を使用して、ウェーハの正確なアライメントとエッチング/灰の均一性を確保します。2300 Flexは、半導体ウェーハの量産に最適な、低バリアビリティの高スループットを提供します。このマシンは、異なるプロセスステップを独立して操作できるマルチチャンバープロセスチャンバーを使用しています。また、同時抵抗コーティングとアッシングが可能です。これにより、複雑なフォトマスクや機能構成の効率的な処理が可能になり、エッチングバイアスが最小限に抑えられ、均一性が向上します。また、高解像度のイメージング、動的なO2パージクリーン、および正確なエッチング制御を提供する適応プロセス制御（APC）も提供します。この技術は、プロセスの精度と再現性を保証し、ウェーハの損傷を回避します。さらに、LAM RESEARCH 2300 Flexは、エッチングプロセスを監視し、異常を検出するためのリアルタイム診断機能と、さまざまなチャンバー構成と温度オプションを備えています。アセットは、最大の稼働時間と機械の可用性を提供し、メンテナンスを簡素化し、エッチングプロセスの迅速な切り替えを可能にするように設計されています。2300 Flexは、レジストストリッピングやイオンビームミリングなど、特定のエッチング、アッシャー、または機能として機能するモジュールで事前に構成されています。これらのモジュールにより、ユーザーはさまざまなプロセスのニーズに合わせてモデルをカスタマイズできます。全体として、LAM RESEARCH 2300 Flexは複雑なウェーハパターンの精密なエッチングとアッシングを提供する高度なエッチャー/アッシャー装置です。高度なプロセス制御技術とイメージング技術を駆使して、エッチング/灰の均一性を確保し、プロセスの効率的な切り替えを提供します。このシステムは信頼性が高く、高スループットの大量生産環境で最大限の稼働時間と可用性を確保するように設計されています。